[发明专利]一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置

说明书

本发明涉及蓝宝石晶片搬运设备，旨在提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。该种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘，能搬运晶片。本发明在晶片需要从晶舟盒中搬运到另一个平台的过程中，不需要人触碰到晶片，机械手晶片吸盘，在一个狭小的空间自动吸取蓝宝石晶片，整个的行程可以扩大一倍甚至更多。

技术领域

本发明是关于蓝宝石晶片搬运设备领域，特别涉及一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。

背景技术

目前，在蓝宝石行业中从晶舟盒中取出晶片进行搬运很重要，用机械手晶片吸盘去吸取晶片的这种方式，避免了因为人工去拿取晶片给晶片带来的二次污染，对蓝宝石的清洗带来很大的帮助。

目前市面上有很多多自由度的机械手，这样的机械手比较大，行程也单一，占的空间位置也比较大。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能在很小的一个空间内，晶片吸盘自动吸取蓝宝石晶片，任意放入指定的晶舟盒中，而且整个机械手的运动行程能够扩大一倍甚至更多的机械手装置。为解决上述技术问题，本发明的解决方案是：

提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置，能搬运晶片，所述用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置包括主电机、同步带轮组、丝杆模组(包含丝杆、丝杆滑块、轴承、固定块)、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴II、同步带轮轴I、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘；

所述同步带轮组包括主动轮、同步带、从动轮，主动轮与从动轮通过同步带连接；同步带轮组设有三组，分别为同步带轮组I、同步带轮组II、同步带轮组III；

所述同步带轮组I包括主动轮、同步带、从动轮、胀紧套，主动轮和从动轮通过同步带连接；主动轮与主电机键连接，从动轮与丝杆模组连接，胀紧套用于固定从动轮；

所述同步带轮组II包括主动轮、同步带、从动轮，主动轮和从动轮通过同步带连接；主动轮与同步带轮轴II连接，由齿轮驱动；从动轮与同步带轮轴I连接，用于驱动同步带轮组III中的主动轮旋转；

所述同步带轮组III包括主动轮、同步带、从动轮，主动轮和从动轮通过同步带连接；主动轮与同步带轮轴I键连接，由同步带轮组II驱动；从动轮固定在导轨滑块安装板上；

所述丝杆模组和主电机通过同步带轮组I连接，主电机能驱动丝杆模组的丝杆旋转，进而丝杆模组的丝杆滑块能随着丝杆的旋转前后运动；丝杆模组的一端通过丝杆模组安装板固定在平台(设备底架)上，丝杆模组的另一端丝杆滑块与丝杆模组滑块连接座连接，进而控制丝杆模组滑块连接座的前后运动；

所述导轨滑块安装板安装在丝杆模组滑块连接座上，(通过螺钉连接)并确保导轨滑块安装板上的导轨安装面和丝杆模组滑块连接座上的导轨安装面在同一个平面，所述导轨滑块安装在导轨滑块安装板和丝杆模组滑块连接座的导轨安装面上；

所述吸盘安装座安装在导轨滑块的滑块安装面连接，使吸盘安装座能随着导轨滑块的移动前后运动，所述晶片吸盘安装在吸盘安装座上；吸盘安装座通过皮带夹紧块与同步带轮组III连接，使得在同步带轮(主动轮、从动轮)旋转的时候，能够带动晶片吸盘向前和向后伸缩；

所述同步带轮轴II的一端与同步带轮组II的主动轮连接，另一端与齿轮连接，同步带轮轴II通过丝杆模组的轴承与丝杆模组滑块连接座连接，使齿轮转动能带动同步带轮组II的主动轮转动，进而同步带轮组II的主动轮带动同步带轮组II的从动轮转动；