[发明专利]一种高真空双插板阀

权利要求书

1.一种高真空双插板阀，其特征在于包括：

主阀体（1），用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体（1）内部设置有活动密封连接的双阀板（2）；

执行机构（3），用于提供动力的机构；所述的执行机构（3）设置在主阀体（1）上；

传动机构（4），用于传递执行机构（3）动力的机构；所述的传动机构（4）分别与执行机构（3）和主阀体（1）连接；

先导阀（5），用于对主阀体（1）内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀（5）设置在主阀体（1）内部与双阀板（2）固定连接，并且与传动机构（4）传动连接；所述的先导阀（5）通过一导向连接机构（16）与传动机构（4）连接；所述的导向连接机构（16）包括一连接块（17）、传动杆（18）和导向块（19），所述的导向块（19）设置在传动机构（4）上，所述的连接块（17）与先导阀（5）连接，所述的传动杆（18）的下端与连接块（17）螺纹连接，所述的传动杆（18）的上端穿设在导向块（19）上。

2.根据权利要求1所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀（5）包括先导阀挂架（6）、先导阀支架（7）、扭转弹簧（8）、先导阀芯（9）、阀芯压盖（10）和先导阀座（11）。

3.根据权利要求2所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀座（11）固定在双阀板（2）上，所述的先导阀芯（9）的一端与先导阀座（11）通过一密封环（13）活动密封连接，所述的先导阀芯（9）的另一端与先导阀支架（7）固定连接并通过先导阀支架（7）带动实现开关动作，所述的阀芯压盖（10）压设在先导阀芯（9）上。

4.根据权利要求2所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀挂架（6）固定在双阀板（2）上，所述的先导阀支架（7）设置在先导阀挂架（6）的内侧，并且先导阀支架（7）的上端通过一上端销轴（15）与先导阀挂架（6）连接，所述的扭转弹簧（8）设置在先导阀支架（7）的内侧并套设在上端销轴（15）上，所述的扭转弹簧（8）压紧在先导阀挂架（6）和先导阀支架（7）上，所述的扭转弹簧（8）的下端抵设在先导阀芯（9）上。

5.根据权利要求1所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的传动机构（4）包括挂架（21）、挂臂（22）、滚珠丝杠（23）和滚珠丝母（24），所述的挂架（21）固定在主阀体（1）内部，所述的挂臂（22）设置在挂架（21）内侧并且通过一预紧装置（25）连接到挂架（21）上，同时挂臂（22）与双阀板（2）铰接，所述的滚珠丝母（24）与预紧装置（25）连接，所述的滚珠丝杠（23）的上端与执行机构（3）连接，所述的滚珠丝杠（23）的下端与滚珠丝母（24）连接，所述的预紧装置（25）与挂架（21）滑动配合连接。

6.根据权利要求5所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的预紧装置（25）包括预紧弹簧（26）、预紧弹簧座（27）和连接座套（28），所述的预紧弹簧座（27）设置在挂架（21）上，所述的连接座套（28）设置在挂臂（22）上，所述的预紧弹簧（26）压设在预紧弹簧座（27）和连接座套（28）之间。

7.根据权利要求6所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的连接座套（28）上设置有丝母安装座（29），所述的滚珠丝母（24）固定在丝母安装座（29）上端内部，所述的挂架（21）上设置有滑套（30），所述的丝母安装座（29）与滑套（30）滑动配合。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：执行机构（3）为智能型多回转电动执行机构，所述的执行机构（3）包括电子控制模块、电子反馈模块和机械限位机构。