[发明专利]光学测量装置及方法

权利要求书

1.一种光学测量装置，其特征在于，包括测试背板、光线发射器、中心点探测器和移动装置，所述移动装置设置于所述测试背板上，所述移动装置上设置有被测样品；

所述光线发射器，用于在所述被测样品上显示第一中心点，所述第一中心点为所述测试背板的中心点；

所述中心点探测器，用于探测出第二中心点并在所述被测样品上显示第二中心点，所述第二中心点为所述被测样品的中心点；

所述移动装置，用于移动所述被测样品以使所述第一中心点和所述第二中心点重合。

2.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述中心点探测器用于测量所述被测样品的尺寸信息，根据所述尺寸信息计算出所述第二中心点的位置信息，并根据所述第二中心点的位置信息向所述被测样品发射光线以在所述被测样品上显示第二中心点。

3.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，还包括设置于所述测试背板上的真空吸附装置；

所述真空吸附装置，用于在所述第一中心点和所述第二中心点重合之后，将所述被测样品吸附固定于所述测试背板上。

4.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述移动装置包括第一支架和第二支架，所述被测样品设置于所述第一支架上，所述第一支架设置于所述第二支架上；

所述第一支架，用于沿第二方向移动以带动所述被测样品沿所述第二方向移动；

所述第二支架，用于沿第一方向移动以带动所述第一支架沿所述第一方向移动，以使被测样品沿所述第一方向移动，所述第一方向和所述第二方向交叉设置。

5.根据权利要求4所述的光学测量装置，其特征在于，所述第一支架的数量为两个，两个所述第一支架平行设置。

6.根据权利要求4所述的光学测量装置，其特征在于，还包括四个固定结构，其中，两个固定结构设置于一个所述第一支架上，另两个固定结构设置于另一个所述第一支架上；

所述被测样品的每个顶角部位位于对应的固定结构上，以设置于所述第一支架上。

7.根据权利要求6所述的光学测量装置，其特征在于，位于每个所述第一支架上的两个固定结构之间的距离根据所述被测样品的尺寸设置。

8.根据权利要求5所述的光学测量装置，其特征在于，两个所述第一支架之间的距离根据所述被测样品的尺寸设置。

9.根据权利要求5所述的光学测量装置，其特征在于，所述第二支架的数量为两个，两个所述第二支架平行设置。

10.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，还包括测试探头和测试探头支架；

所述光线发射器位于所述测试探头内，所述中心点探测器位于所述测试探头上方；

所述测试探头位于所述测试探头支架上。

11.根据权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，还包括底部转盘和设备支架；

所述测试背板设置于所述设备支架上，所述设备支架设置于所述底部转盘上；

所述底部转盘沿转动轴线转动以带动所述测试背板转动，所述底部转盘的中心点与所述第一中心点位于所述转动轴线上。

12.一种光学测量方法，其特征在于，包括：

光线发射器在被测样品上显示第一中心点，所述第一中心点为测试背板的中心点；

中心点探测器探测出第二中心点并在所述被测样品上显示第二中心点，所述第二中心点为所述被测样品的中心点；

移动装置移动所述被测样品以使所述第一中心点和所述第二中心点重合。