[发明专利]一种柔性聚光反射镜在审
申请号: | 201710413138.8 | 申请日: | 2017-06-05 |
公开(公告)号: | CN108987518A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 吴历清;张晓岚;籍龙占;王国昌;谢丑相 | 申请(专利权)人: | 杭州朗旭新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/054 | 分类号: | H01L31/054 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 310051 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属反射层 缓冲层 保护层 基材 聚光反射镜 梯度材料 复合 热膨胀系数 柔性反射镜 使用寿命 结合力 相容性 制备 | ||
本发明提供了一种柔性聚光反射镜,包括依次接触的保护层、金属反射层和基材;所述保护层和金属反射层之间复合有缓冲层,或者所述金属反射层和基材之间复合有缓冲层;或者所述保护层和金属反射层之间,所述金属反射层和基材之间均复合有缓冲层;所述缓冲层为梯度材料。本发明在柔性聚光反射镜中增加了梯度材料制备的缓冲层,可以提高保护层与金属反射层,或金属反射层与基材之间的结合力以及材料之间的相容性,并降低两者之间由于热膨胀系数差造成的应力;从而能够有效提高柔性反射镜的使用寿命。
技术领域
本发明涉及技术领域,尤其涉及一种柔性聚光反射镜。
背景技术
太阳能作为永久的、清洁的能源,具有良好的前景,得到了很大的发展。太阳能利用主要有光热和光伏两大系统,其中,光热系统因其系统简单而具有成本低的优势,目前正商业化发展。一般来说,太阳能光热系统形式有槽式、塔式、碟式(盘式)、菲涅尔式四种系统,而其中槽式系统由于效率高,技术最为成熟而得到大力推广。
反射镜场是太阳能光热系统中的关键部件,槽式系统中初期主要采用2片或4片曲面玻璃反射镜拼接而成槽形抛物面聚光器。曲面玻璃反射镜由于其质重、易碎、生产成本高,现有趋势是采用柔性反射镜取而代之。
然而现有的柔性反射镜,为降低成本,多采用表面粗糙的衬底,因此需要添加流平层。为了提高金属反射层的使用寿命,柔性反射镜通常还具有保护层。这种三明治式的结构通常存在各层之间材料的相容性差、热膨胀系数差异大、残余应力大等问题,从而大大影响反射镜寿命。
发明内容
有鉴于此,本发明要解决的技术问题在于提供一种柔性聚光反射镜,通过在柔性聚光反射镜结构中的一些重要关键界面添加合适的缓冲层,使反射镜具有较高的耐久性、耐候性和耐用性。
本发明提供了一种柔性聚光反射镜,包括依次接触的保护层、金属反射层和基材;所述保护层和金属反射层之间复合有缓冲层,或者所述金属反射层和基材之间复合有缓冲层;或者所述保护层和金属反射层之间,所述金属反射层和基材之间均复合有缓冲层;所述缓冲层为梯度材料。
优选的,所述基材面向反射层的一侧复合有流平层。
优选的,所述流平层为UV胶或有机硅材料。
优选的,所述缓冲层为硅铝氧化物或硅铝氮氧化物。
优选的,所述缓冲层中,硅铝氧化物或硅铝氮氧化物,材料成分呈梯度变化,沿金属反射层方向铝含量增加,沿基材方向,硅含量增加。
优选的,所述缓冲层采用硅靶和铝靶,或硅铝合金靶磁控溅射法沉积。采用硅铝合金多靶溅射沉积时,各硅铝合金靶中铝或硅含量依靶位位置呈梯度变化。
优选的,所述硅铝合金靶中,Al含量从90%依次递减至10%,或Si的含量从10%依次递增至90%;或者Al的含量从10%依次递增至90%,或Si的含量从90%依次递减至10%。
优选的,所述金属反射层为铝,或银,或铝和银的复合层。
优选的,所述基材为金属板材或树脂基材。
与现有技术相比,本发明提供了一种柔性聚光反射镜,包括依次接触的保护层、金属反射层和基材;所述保护层和金属反射层之间复合有缓冲层,或者所述金属反射层和基材之间复合有缓冲层;或者所述保护层和金属反射层之间,所述金属反射层和基材之间均复合有缓冲层;所述缓冲层为梯度材料。本发明在柔性聚光反射镜中增加了梯度材料制备的缓冲层,可以提高保护层与金属反射层、金属反射层与基材之间的结合力,并降低两者之间由于热膨胀系数差造成的应力,提高材料相容性;从而能够有效提高柔性反射镜的使用寿命。
附图说明
图1为本发明提供的柔性聚光反射镜的一种结构示意图;
图2为本发明实施例1提供的柔性聚光反射镜的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的