[发明专利]同轴随形聚焦系统

权利要求书

1.同轴随形聚焦系统，其特征在于，包括：

扩束装置(1)，平行入射光束由所述扩束装置(1)的入光端进入所述扩束装置(1)，并产生发散光束；

分束器(3)，所述分束器(3)置于所述扩束装置(1)的出光端，所述发散光束穿过所述分束器(3)；

聚束装置(2)，所述聚束装置(2)置于所述分束器(3)的出光端，且所述聚束装置(2)与所述扩束装置(1)同轴设置，所述发散光束由所述聚束装置(2)的入光端进入所述聚束装置(2)，并产生汇聚光束(5)，所述汇聚光束(5)的焦点处于工件(7)表面前后，被所述汇聚光束(5)照亮的所述工件(7)表面产生反向传输的散射光(6)，光电探测器(8)接收被所述分束器(3)反射的所述散射光(6)；

伺服机构(4)，所述扩束装置(1)、所述分束器(3)和所述光电探测器(8)固定于所述伺服机构(4)上，且所述伺服机构(4)受控于闭环控制电路(9)；

闭环控制电路(9)，所述光电探测器(8)接收到的所述散射光(6)的光强信号送至所述闭环控制电路(9)，所述闭环控制电路(9)根据所述光强信号解算出聚焦状态误差值，并驱动所述伺服机构(4)补偿聚焦状态误差值；

所述伺服机构(4)带动所述扩束装置(1)、分束器(3)、光电探测器(8)沿所述扩束装置(1)和聚束装置(2)的轴线方向往复运动；

所述散射光(6)穿过所述聚束装置(2)，并通过所述分束器(3)部分反射于所述光电探测器(8)表面，所述闭环控制电路(9)根据所述光电探测器(8)接收的散射光(6)的光强信号驱动所述伺服机构(4)补偿聚焦状态偏离的误差值；

所述光电探测器(8)接收散射光(6)的一面至少设置有两个光敏面(10)，且相邻两个所述光敏面(10)之间具有缝隙。

2.根据权利要求1所述的同轴随形聚焦系统，其特征在于，所述伺服机构(4)使用伺服电机或步进电机或音圈电机作为动作器。

3.根据权利要求2所述的同轴随形聚焦系统，其特征在于，所述伺服机构(4)上安装有位置传感器。

4.根据权利要求1所述的同轴随形聚焦系统，其特征在于，所述光电探测器(8)为CCD或PIN光电探测器或硅光电池或PSD或光电二极管。