[发明专利]用于生产光学元件的方法

说明书

本发明提出了用于生产光学元件的方法，该光学元件包括主体，该主体带有第一侧表面和至少一个第二侧表面，该第一侧表面具有第一光学涂层，该至少一个第二侧表面并非平面平行于该第一侧表面并且具有第二光学涂层，该方法包括以下步骤：‑确定该第一侧表面的该第一光学涂层在该光学元件中引起的应力；‑确定对抗应力，从而使得在该光学元件中引起的合成总应力尽可能小；‑在考虑所确定的对抗应力和这个第二光学涂层的光学参数的同时确定该第二光学涂层；‑将该第一光学涂层涂覆在该第一侧表面上；‑将该第二光学涂层涂覆在该至少一个第二侧表面上。

本发明涉及一种用于生产光学元件的方法，该光学元件包括主体，该主体带有第一侧表面和至少一个第二侧表面，该第一侧表面具有第一光学涂层，该至少一个第二侧表面不平面平行于该第一侧表面并且具有第二光学涂层。本发明还涉及通过这种方法生产的光学元件。

已知的是在光学元件在其主体上具有光学涂层的情况下，该光学涂层可能引起压应力或张应力。光学涂层越厚，并且特别是光学涂层的层数越大，引起的应力就越大。这些应力导致主体变形，这可以例如显现为波前变形。

在立方形结构的光学元件（例如，像法布里-珀罗干涉仪）情况下，例如从应用光学（Applied Optics）第53卷，12号，第2616页及以下的页中Marie-Maude de Denus-Baillargeon等人的文章已知将光学涂层本身优化到其所施加的应力尽可能小的程度或在最简单的情况下将完全相同的涂层涂覆到与涂布侧相反的那侧，从而使得应力彼此相抵消。在作者以其来寻求找到合适的涂层的这些方式当中有借助于有限元法的计算方法。

在用于UV或EUV光刻的光学元件在基材的第一侧具有功能涂层的情况下，从DE 102011 079 933 A1中已知在具有与第一侧共用的边缘的第二侧上提供具有一定厚度和应力的涂层，该厚度和应力被选择成使得该功能性涂层的厚度和应力的乘积除以第二侧的涂层的厚度和应力的所得到的商处于0.8与5.0之间的值范围内。具体地，与第一边缘共享共用边缘的所有侧都被涂覆以便补偿应力。

本发明的目的是提出一种用于生产光学元件的方法，其中，减小光学涂层引起的主体变形。

此目的是通过用于生产光学元件的方法来实现的，该光学元件包括主体，该主体带有第一侧表面和至少一个第二侧表面，该第一侧表面具有第一光学涂层，该至少一个第二侧表面并非平面平行于该第一侧表面并且具有第二光学涂层，该方法包括以下步骤：

- 确定该第一侧表面的该第一光学涂层在该光学元件中引起的应力；

- 确定对抗应力，从而使得在该光学元件中引起的合成总应力尽可能小；

- 在考虑所确定的对抗应力和这个第二光学涂层的光学参数的同时确定该第二光学涂层；

- 将该第一光学涂层涂覆在该第一侧表面上；

- 将该第二光学涂层涂覆在该至少一个第二侧表面上。

在光学元件具有至少两个并非平面平行于彼此的侧表面的情况下，光学元件的情况可以是例如其主体被形成为棱镜或基本上楔形板、或是至少一条边缘角度不等于90°的任何多面体，存在的问题是不能容易地使用从现有技术已知的、例如在相反侧表面上涂覆完全相同的涂层的方法或为邻接的侧表面提供任何涂层的方法（只要由此达到充分的应力补偿即可）。如果光学元件的这些侧表面中的一个或多个侧表面弯曲，则问题加重。

应指出的是，第一侧表面的第一光学涂层引起的应力和对抗应力是机械应力，具体是压应力和/或拉伸应力。