[发明专利]一种利用热电阻原理的压力传感器及其工作方法在审
| 申请号： | 201710406404.4 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107014551A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;夏云汉;杨恒山 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 热电阻 原理 压力传感器 及其 工作 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用热电阻原理的压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括衬底(1)、薄膜(2)、第一热电阻(3)和第二热电阻(4)，衬底(1)的上部设有空腔(101)，薄膜(2)生长在衬底(1)的顶面，且薄膜(2)覆盖在空腔(101)上方，第一热电阻(3)和第二热电阻(4)分别位于空腔(101)中。
2.按照权利要求1所述的利用热电阻原理的压力传感器，其特征在于，所述的空腔(101)的顶面为薄膜(2)。
3.按照权利要求1所述的利用热电阻原理的压力传感器，其特征在于，所述的空腔(101)为绝热腔体。
4.一种权利要求1所述的压力传感器的工作方法，其特征在于，该方法包括：
外界压力施加在传感器表面时，薄膜(2)发生弯曲，使得薄膜(2)到空腔(101)底部的距离发生改变，空腔(101)内部的空气压缩；空腔(101)内部的温度升高，从而使得第一热电阻(3)和第二热电阻(4)的阻值改变；根据所述阻值的改变，获取外界压力值。
5.按照权利要求4所述的压力传感器的工作方法，其特征在于，所述的空腔(101)为绝热腔体。
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