[发明专利]图案形成装置、设置基板的方法和制造物品的方法

权利要求书

1.一种在基板上形成图案的图案形成装置，其特征在于，包括：

载台，所述载台能移动；

保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；

光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基板被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；

参考标记，用于测量光学系统的检测场的位置；以及

检测系统，被配置成检测所述参考标记，其中

基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中

设置了多个参考标记，

所述检测系统检测所述多个参考标记，以及

所述图案形成装置：根据检测系统对所述多个参考标记的检测结果来获得所述保持单元的位置和角度，以及

根据所述保持单元的获得的位置和获得的角度将基板设置在保持单元上。

3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中

提供了多个光学系统，

在基板被设置在保持单元上之后，所述多个光学系统检测基板的多个对准标记，获得所述基板的位置和角度，

根据所述基板的获得的位置和获得的角度执行基板的对准，并在基板上形成图案。

4.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述参考标记形成在构成所述保持单元的构件中。

5.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述参考标记形成在被附接到所述保持单元的构件中。

6.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述参考标记形成在工具基板中。

7.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述光学系统被固定地设置在所述保持单元的内部。

8.根据权利要求7所述的图案形成装置，其中，所述光学系统是固定地设置在所述保持单元的内部的中继光学系统。

9.一种使用图案形成装置在保持单元上设置基板的方法，其特征在于，该图案形成装置在基板上形成图案，所述图案形成装置包括

载台，所述载台能移动，

保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；

光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基本被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；以及

检测系统，被配置成检测用于测量所述光学系统的检测场的位置的参考标记，其中

基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。

10.根据权利要求9所述的设置方法，其中

在更换保持单元之后，检测用于测量光学系统的检测场的位置的参考标记，以及

根据由检测系统检测到的参考标记的位置，将基板设置在保持单元上。

11.根据权利要求9所述的设置方法，其中，所述基板通过根据由所述检测系统检测的所述参考标记的位置控制所述载台而被设置在所述保持单元上，使得通过光学系统从所述基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。

12.根据权利要求9所述的设置方法，其中，所述基板通过控制输送单元而被设置在所述保持单元上使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中，其中所述输送单元根据由所述检测系统检测到的参考标记的位置来输送所述基板。

13.根据权利要求9所述的设置方法，其中，在通过控制包括保持基板的载台和测量所述基板的位置的测量单元的预对准检测单元的载台来调整所述基板的位置或角度之后，所述基板被从预对准检测单元输送到保持单元，并且基板被设置在保持单元上。

14.一种制造制品的方法，其特征在于，包括：

使用图案形成装置在基板上形成图案；以及

通过处理其中形成了图案的基板来制造物品，

其中，所述图案形成装置包括

载台，所述载台能移动；

保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；

光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基板被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；

参考标记，用于测量光学系统的检测场的位置；以及

检测系统，被配置成检测所述参考标记，并且

其中基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。