[发明专利]蒸镀遮罩

说明书

本发明提供一种蒸镀遮罩，其包括框架、主体膜，所述框架贯设有一第一开口，所述主体膜盖设于所述第一开口上，所述主体膜上开设有多个第二开口；所述主体膜包括塑料膜，每一个所述第二开口贯穿所述塑料膜，所述第一开口与每一个所述第二开口连通；所述蒸镀遮罩还包括支架；所述支架固定于所述框架上且跨越所述第一开口，所述框架与所述支架共同支撑所述主体膜。本发明的蒸镀遮罩采用塑料材质且通过支架进一步支撑蒸镀遮罩，改善蒸镀遮罩下垂问题，减少阴影效应的影响。

技术领域

本发明涉及一种蒸镀遮罩。

背景技术

目前之有机电致发光显示面板通过在基板上蒸镀有机发光材料以将有机发光材料形成在基板上。随着有机电致发光显示技术的发展，有机电致发光显示装置的尺寸在不断增加，也要求蒸镀遮罩的尺寸要不断增大。但随着蒸镀遮罩尺寸的增大，会由于重力作用而加重蒸镀遮罩下垂问题，随之导致蒸镀遮罩在蒸镀过程中发生对位不良，影响生产良率。

蒸镀遮罩一般选用金属材质，蒸镀时藉由一磁铁将基板与蒸镀遮罩紧密接合，蒸镀遮罩上之遮罩图案通常藉由蚀刻方式进行加工。然，于金属材质上加工图案的精细程度较难控制，从而影响蒸镀之精度。若蒸镀遮罩采用塑料材质，虽可满足对加工图案精细化的要求，但塑料材质不具有磁性，无法通过磁铁使基板与蒸镀遮罩紧密贴合，令蒸镀过程中塑料蒸镀遮罩与基板之间存在一间隙，进而导致基板上的蒸镀形成的有机发光材料图案的实际尺寸大于预设尺寸(shadow effect，阴影效应)，影响蒸发质量。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种能够改善阴影效应的蒸镀遮罩。

一种蒸镀遮罩，其包括框架、主体膜，所述框架贯设有一第一开口，所述主体膜盖设于所述第一开口上，所述主体膜上开设有多个第二开口；所述主体膜包括塑料膜，每一个所述第二开口贯穿所述塑料膜，所述第一开口与每一个所述第二开口连通；所述蒸镀遮罩还包括支架；所述支架固定于所述框架上且跨越所述第一开口，所述框架与所述支架共同支撑所述主体膜。

优选地，所述主体膜还包括与所述塑料膜层叠设置的金属膜，每一个所述第二开口贯穿所述金属膜。

优选地，每一个所述第二开口包括贯穿所述塑料膜的第一子开口和贯穿所述金属膜的第二子开口，所述第二子开口与所述第一子开口连通，所述第二子开口的内径大于所述第一子开口的内径。

优选地，所述塑料膜包括中央区和周边区，其中所述多个第二开口对应所述中央区设置；所述金属膜覆盖所述塑料膜的周边区。

优选地，所述框架与所述支架位于所述主体膜的同一侧。

优选地，所述框架与所述支架均位于所述主体膜具有所述金属膜的一侧。

优选地，所述支架包括纵向延伸的至少一个第一支架和横向延伸的至少一个第二支架中至少一种。

优选地，每一个所述第一支架具有相对的两端，每一个所述第一支架的两端固定于所述框架上；每一个所述第二支架具有相对的两端，每一个所述第二支架的两端固定于所述框架上。

优选地，所述主体膜为一非连续的层，其包括至少两个间隔设置的子膜。

优选地，所述第一支架和所述第二支架中至少一者包括支撑部和由所述支撑部延伸形成的延伸部，所述支撑部用于支撑相邻的两个所述子膜，所述延伸部位于相邻的两个所述子膜之间。

相较于现有技术，本发明的蒸镀遮罩采用塑料材质且通过支架进一步支撑蒸镀遮罩，改善蒸镀遮罩下垂问题，减少阴影效应的影响。

附图说明

图1是本发明第一实施例的蒸镀遮罩平面结构示意图。

图2是图1沿II-II剖面线剖开的剖面结构示意图。

图3是本发明第一实施例的主体膜剖面结构示意图。