[发明专利]一种高致密性高导热钨铜材料的制备方法

权利要求书

1.一种高致密性高导热钨铜材料的制备方法，其特征在于，所述高致密性是指钨铜材料的密实度大于98％，所述高导热是指钨铜材料的热导率为220W/m·K～300W/m·K；

所述制备方法包括以下步骤：

步骤一、将钨粉置于氢气炉内进行还原以去除表面的氧化层；

步骤二、以铜靶为溅射靶材，对步骤一中还原后的钨粉进行磁控溅射，得到复合材料；所述磁控溅射的真空室压强为1.0Pa～9.0Pa，保护气体为氩气和氯化氢的混合气体，磁感应强度为0.2T～0.3T，磁控溅射的时间为30min～60min；

步骤三、将步骤二中所述复合材料置于热压炉内，在氩气保护下，温度为1500℃～1600℃，压力为10吨～15吨的条件下热压烧结30min～60min，然后自然冷却，得到前驱体；

步骤四、将步骤三中所述前驱 体置于化学气相沉积炉内，以甲烷和水蒸气的混合气体为反应气体，对前驱 体进行化学气相沉积，得到高致密性高导热钨铜材料；所述甲烷和水蒸气的混合气体中甲烷的体积百分含量为70％～90％，余量为水蒸气，气体流量为60cc/min～90cc/min，化学气相沉积的温度为600℃～800℃，时间为10min～30min。

2.根据权利要求1所述的一种高致密性高导热钨铜材料的制备方法，其特征在于，步骤一中所述还原的温度为1200℃～1500℃，时间为30min～90min，氢气流量为30cc/min～50cc/min。

3.根据权利要求1所述的一种高致密性高导热钨铜材料的制备方法，其特征在于，步骤二中所述氩气和氯化氢的混合气体中氩气的体积百分含量为80％～90％，余量为氯化氢气体。