[发明专利]用于在INFO封装件上的无线充电结构的堆叠的线圈及其形成方法

说明书

本发明的实施例提供了一种堆叠线圈结构，包括第一包封层和在第一包封层中的第一线圈。第一包封层的顶面与第一线圈的顶面共平面，并且第一包封层的底面与第一线圈的底面共平面。在第一包封层上方形成第二包封层。导电通孔在第二包封层中，并且第一导电通孔电耦合至第一线圈。第三包封层位于第二包封层上方。第二线圈在第三包封层中。第三包封层的顶面与第二线圈的顶面共平面，并且第三包封层的底面与第二线圈的底面共平面。本发明的实施例还提供了一种形成堆叠线圈结构的方法。

技术领域

本发明总体涉及半导体领域，更具体地，涉及无线电充电线圈及其形成方法。

背景技术

无线充电已经变成了一个越来越受欢迎的充电技术。无线充电有时称为电感充电，电感充电使用电磁场在功率发射器和功率接收器之间传输功率。功率通过电感耦合被发送至电器件，然后电器件可以使用该功率给电池充电或运行器件。电感充电器使用第一电感线圈以产生来自发射器的交变电磁场并且使用第二电感线圈以接收来自电磁场的功率。第二电感线圈将功率转换回至电流，然后该电流被用于给电池充电或直接驱动电器件。两个电感线圈当彼此靠近时形成电力变压器。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种堆叠线圈结构，包括：第一包封层；第一线圈，位于所述第一包封层中，其中，所述第一包封层的顶面与所述第一线圈的顶面共平面，并且所述第一包封层的底面与所述第一线圈的底面共平面；第二包封层，位于所述第一包封层上方；两个导电通孔，位于所述第二包封层中，其中，所述两个导电通孔电连接至所述第一线圈；第三包封层，位于所述第二包封层上方；以及第二线圈以及一个或两个导电通孔，在所述第三包封层中，其中，所述第三包封层的顶面与所述第二线圈的顶面共平面，并且所述第三包封层的底面与所述第二线圈的底面共平面。

根据本发明的另一个方面，提供了一种堆叠线圈结构，包括：第一模塑料；第二模塑料，位于所述第一模塑料上方；第三模塑料，位于所述第二模塑料上方；第四模塑料，位于所述第三模塑料上方；第五模塑料，位于所述第四模塑料上方；第一线圈，在所述第一模塑料中；第二线圈，在所述第三模塑料中；以及第三线圈，在所述第五模塑料中，其中，在所述第二模塑料和所述第四模塑料中没有形成线圈。

根据本发明的又一个方面，提供了一种形成堆叠线圈结构的方法，包括：在载体上方形成第一线圈；在第一包封层中包封所述第一线圈；在所述第一线圈和所述第一包封层上方形成第一介电层；在所述第一介电层上方形成第一金属柱；在第二包封层中包封所述第一金属柱；在所述第一金属柱和所述第二包封层上方形成第二介电层；在所述第二介电层上方形成第二线圈；在第三包封层中包封所述第二线圈；以及形成连接至所述第一线圈和所述第二线圈的电连接件。

附图说明

当结合附图进行阅读时，根据下面详细的描述可以更好地理解本发明的实施例。应该强调的是，根据工业中的标准实践，对各种部件没有按比例绘制并且仅仅用于说明的目的。实际上，为了清楚的讨论，各种部件的尺寸可以被任意增大或缩小。

图1A至图1D示出了根据一些实施例的线圈模块的顶视图、示意图和截面图。

图2A至图2E示出了根据一些实施例的线圈模块的立体图、顶视图、示意图和截面图。

图3A至图3F示出了根据一些实施例的线圈模块的顶视图、示意图和截面图。

图4A至图19B示出了根据一些实施例的线圈模块的形成中的中间阶段的截面图。

图20A、图20B和图20C示出了根据一些实施例的无线充电电路的电路图。

图21示出了根据一些实施例的线圈的一部分的放大图。

图22示出了根据一些实施例的用于形成线圈模块的工艺流程图。

图23A和图23B示出了根据一些实施例的线圈模块的立体图，其中，线圈模块的不同层中的线圈相对彼此旋转。