[发明专利]TOC型OLED显示器的制作方法及TOC型OLED显示器

权利要求书

1.一种TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1、提供衬底基板(1)，对衬底基板(1)进行清洗和预烘烤；

步骤S2、沉积黑色遮光薄膜，对黑色遮光薄膜进行图案化处理，形成黑色矩阵(2)；

步骤S3、在所述黑色矩阵(2)内依次沉积不同颜色的色阻，形成彩色滤光层(3)；

步骤S4、在所述彩色滤光层(3)上沉积形成平坦层(4)；

步骤S5、在所述平坦层(4)上沉积第一金属层，对第一金属层进行图案化处理，形成栅极(5)；

步骤S6、在所述栅极(5)与平坦层(4)上沉积覆盖栅极绝缘层(6)；

步骤S7、配置掺杂有锂的氧化锌溶液，将配置好的掺杂有锂的氧化锌溶液旋涂在栅极绝缘层(6)上形成掺杂有锂的氧化锌涂层，然后对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理，再对掺杂有锂的氧化锌涂层进行图案化处理，形成沟道层(7)；

步骤S8、沉积刻蚀阻挡层(8)，并对刻蚀阻挡层(8)进行图案化处理，形成分别暴露出沟道层(7)两侧的第一过孔(81)、与第二过孔(82)；

步骤S9、在所述刻蚀阻挡层(8)上沉积第二金属层，并对第二金属层进行图案化处理，形成源极(91)、与漏极(92)；所述源极(91)、漏极(92)分别经由第一过孔(81)、第二过孔(82)接触沟道层(7)的两侧；

步骤S10、在所述刻蚀阻挡层(8)、源极(91)、及漏极(92)上依次制作出保护层(10)、阳极(11)、像素定义层(12)、OLED发光层(13)、及阴极(14)。

2.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述衬底基板(1)为玻璃基板。

3.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述不同颜色的色阻包括红色色阻(R)、绿色色阻(G)、及蓝色色阻(B)。

4.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述平坦层(4)、栅极绝缘层(6)、刻蚀阻挡层(8)、与保护层(10)的材料均为氧化硅、氮化硅、或二者的组合。

5.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述第一金属层与第二金属层的材料均为钼、钛、铝、铜中的一种或几种的堆栈组合。

6.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述步骤S7中，以氢氧化锂与氢氧化锌为原料来配置掺杂有锂的氧化锌溶液。

7.如权利要求1所述的TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，所述阳极(11)的材料为氧化铟锡。

8.一种TOC型OLED显示器，其特征在于，通过如权利要求1～7任一项所述的TOC型OLED显示器的制作方法制得，其内的沟道层(7)的材料为掺杂有锂的氧化锌。