[发明专利]膜式燃气表整机密封性氦气干检系统和方法

权利要求书

1.一种膜式燃气表整机密封性氦气干检系统，其包括检漏真空箱、真空泵、真空计、阀门和管道，

其中，检漏真空箱具有一个进气管道，进气管道的一端与检漏真空箱内的膜式燃气表的进气口和出气口连接，该进气管道的另一端分别连接有经第一到第三阀门控制的氦气进气管、回收抽空管道、放大气管道，其中氦气进气管、回收抽空管道、放大气管道可切换地与检漏真空箱内的膜式燃气表的进气口和出气口连通；

该进气管道进一步分支出一个用于对膜式燃气表表内空腔抽真空的膜式燃气表表内抽真空管道，该膜式燃气表表内抽真空管道经由第四阀门连接于第一抽真空装置，

检漏真空箱的出口连接一个检漏真空箱出口管道，该检漏真空箱出口管道进一步分为三个支路，第一支路经由第五阀门连接第一抽真空装置，第二支路经由第六阀门连接第二抽真空装置，该第二抽真空装置进一步经由第七阀门连接于氦质谱检漏仪，该氦质谱检漏仪进一步连接第三抽真空装置，第三支路经由第八阀门连接排气管道；

其中，第一抽真空装置用于对膜式燃气表表内腔和膜式燃气表外的检漏真空箱内部抽真空，第二抽真空装置用于对膜式燃气表外的检漏真空箱内部空间进行进一步抽真空，

优选地，该进气管道的另一端还连接有经第九阀门控制的氮气进气管，其中氦气进气管、回收抽空管道、放大气管道、氮气进气管可切换地与检漏真空箱内的膜式燃气表的进气口和出气口连通。

2.根据权利要求1所述的氦气干检系统，其特征在于，第一抽真空装置和第二抽真空装置各自包括串联的罗茨泵、真空泵。

3.根据权利要求1或2所述的氦气干检系统，其特征在于，第一抽真空装置能够并联连接多个检漏真空箱和位于检漏真空箱内的多个膜式燃气表，以及第二抽真空装置能够并联连接多个检漏真空箱。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的氦气干检系统，其特征在于，膜式燃气表表内抽真空管道分出一个支管经由第十阀门连接氦气回收系统。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的氦气干检系统，其特征在于，膜式燃气表表内抽真空管道分出一个支管经由第十一阀门连通大气。

6.根据权利要求4所述的氦气干检系统，其特征在于，氦气回收系统包括依次连接的回收抽真空缓冲罐、真空泵、低压罐、压缩机、高压钢瓶。

7.一种利用权利要求1-6中任一项所述的氦气干检系统的膜式燃气表整机密封性氦气干检方法，该方法包括：

(A)打开第四阀门、第五阀门，利用第一抽真空装置对膜式燃气表和检漏真空箱进行同时抽真空，当压力达到45-55kpa，优选47-52kpa，更优选约50kpa时关闭第四阀门；检漏真空箱继续抽真空，当检漏真空箱真空度达到90-110Pa，优选95-105Pa，更优选约100Pa时，关闭真空箱抽真空阀门第五阀门，优选此段抽真空时间设定为2-6s，更优选3秒，保持真空箱及工件内腔的真空压力，测试工件内腔及真空箱的真空度变化，判断工件是否存在大漏，对于检大漏不合格工件，停止检漏，设备给出大漏报警指示；

(B)对于检大漏合格的工件，第四阀门、第五阀门保持打开，对真空箱及工件内腔继续抽真空，直至真空箱的真空度达到≤30Pa，关闭第四阀门、第五阀门，完成真空预抽；

(C)打开第六阀门利用第二抽真空装置对检漏真空箱继续抽真空，同时打开第七阀门将真空箱与质谱仪之间管路联通；

(D)氦质谱检漏工序(用于对工件进行氦质谱检漏测试，工序时间例如13-20秒，例如14s)：当真空箱真空度达到真空度≤30Pa，氦质谱检漏仪接入系统进行氦气本底测试(本底测试时间为例如大约3s至5s)，当系统氦气本底值符合氦质谱检漏测试的要求时，检漏仪自动进行本底漏率清零处理，然后正式进入氦检测试；

(E)打开氦气进气管上的阀门对膜式燃气表进行氦气的冲注，当膜式燃气表内压力达到设定值(例如绝压45-55Kpa，优选50Kpa)时关闭氦气进气管上的阀门，真空箱抽真空检漏(测试例如9至11秒钟)，对工件进行氦质谱检漏测试，得到工件的泄漏率，检测完毕关闭第七阀门；

(F)任选地进行下一个检漏真空箱内的膜式燃气表的检漏。