[发明专利]一种制备光电阴极镀层用镍合金无缝蒸发器及加工方法在审
申请号: | 201710385072.6 | 申请日: | 2017-05-26 |
公开(公告)号: | CN107058959A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 田文怀;郭子萌;王保光;秦世开;王崇云 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C22C19/05 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 光电 阴极 镀层 镍合金 无缝 蒸发器 加工 方法 | ||
技术领域
本发明涉及夜视仪用光电阴极镀层蒸镀技术领域,特别涉及一种制备光电阴极镀层用镍合金无缝蒸发器及加工方法。
背景技术
微光夜视技术是用真空和电子光学等技术实现光子图像-电子图像-光子图像的转换。微光夜视仪通过接收夜间目标反射的低亮度夜光、星月光、大气辉光等自然光,将其转换成电信号,然后对电信号进行增强放大几万甚至几千万倍以后,再把增强的电信号转换成光,从而达到适于肉眼夜间进行侦察、观察、瞄准、车辆驾驶和其它战场作业。
微光夜视仪的核心部件是微光图像增强器,能够在光电阴极上蒸镀出均匀性好且纯度高的镀层,是得到高质量的微光图像增强器的技术关键。现有的蒸发器由于在结构上存在很大缺陷:现有的蒸发器都是带有缝隙的,这会大大提高加工难度,一不小心就容易漏粉;同时还会导致蒸发器力学性能较低,如果蒸发过程中气压较大,甚至会导致缝隙扩张而漏粉,这会对光电阴极造成不可修复的污染;而且如果缝隙加工不均匀的话还会导致蒸汽溢出不稳定,容易造成蒸镀出的镀膜不均匀。
发明内容
本发明的目的就是克服现有技术的不足,提供了一种制备光电阴极镀层用镍合金无缝蒸发器及加工方法,加工工艺简单,易实现机械化,同时蒸发器蒸镀过程中,易于均匀稳定地在光电阴极上生成蒸镀层,提高了微光图像增强器光电面的光电转换率。
本发明一种制备光电阴极镀层用镍合金无缝蒸发器,所述蒸发器由截面为梯形的无缝蒸发管加工制成,包括中间扁平部、盛装材料部、电极;所述中间扁平部中心有1个直径为1.5mm~4.0mm的圆孔,所述圆孔位于所述中间扁平部截面梯形下底边或上底边的一侧;所述盛装材料部数量为2个,分别设置于所述中间扁平部的两端;所述电极数量为2个,分别设置于所述盛装材料部远离所述中间扁平部的一侧;所述中间扁平部、盛装材料部、电极均无缝连接为整体。
进一步的,所述无缝蒸发管的材质为镍铬合金,其中铬含量为5~30 wt.%。
进一步的,所述无缝蒸发管的梯形截面尺寸为:上底d=1.5~4.0mm,高h=1.5~4.0mm,底角θ=30°~80°,管材厚度t=0.020~0.050mm;每根无缝管的长度L=20~50mm;所述圆孔的直径为1.5~4.0mm。
进一步的,所述中间扁平部长度为3.0~8.0mm,中间留有0.3~2.0mm的缝隙,作为蒸汽溢出的通道。
进一步的,所述中间扁平部的底面与所述电极的平面夹角为0-180度。
进一步的,所述夹角为0度或90度。
本发明还提供了一种如权利要求1-5任一项所述的无缝蒸发器的加工制作方法,包括以下步骤:
步骤一、无缝蒸发管中间部分压扁:选择合适长度的镍铬合金梯形无缝蒸发管,在其中心圆孔处,将以圆心为中点、长度为3.0~8.0mm的区域压扁,上下面中间留有0.3~2.0mm的缝隙,作为蒸汽逸出的通道;
步骤二、装入蒸发材料:在蒸发管两端各加入总质量相等的蒸发材料;
步骤三、加工电极:将两端剩余部分全部压扁成为电极,电极面与中间压扁面的角度根据需求调整,得到完整的无缝蒸发器。
本发明的有益效果为:该蒸发器的加工工艺简单,易实现机械化,同时蒸发器蒸镀过程中,易于均匀稳定地在光电阴极上生成镀层,提高了微光图像增强器光电面的光电转换率。本发明设计巧妙,性能可靠,能满足多种光电阴极镀层制备的要求。
附图说明
图1所示为压扁面与电极面平行的蒸发器平面示意图。
图2所示为压扁面与电极面垂直的蒸发器平面示意图。
其中:1-中间扁平部、2-盛装材料部、3-电极、4-圆孔、5-蒸发材料、6-蒸汽逸出缝。
具体实施方式
下文将结合具体附图详细描述本发明具体实施例。应当注意的是,下述实施例中描述的技术特征或者技术特征的组合不应当被认为是孤立的,它们可以被相互组合从而达到更好的技术效果。在下述实施例的附图中,各附图所出现的相同标号代表相同的特征或者部件,可应用于不同实施例中。
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