[发明专利]一种退火炉加湿器管路系统及其操作方法

权利要求书

1.一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：包括氮气进气管(1)、调节管(2)、加湿器罐体(3)、加湿器加热装置(4)和出气管(5)，所述氮气进气管(1)与所述加湿器罐体(3)的下端连通，且所述氮气进气管(1)上设有调节阀(6)，所述调节管(2)通过连接管与外接混合气体站连通，且该连接管上设有调节阀(6)，所述加湿器加热装置(4)设置于加湿器罐体(3)的下端，所述出气管(5)装设于加湿器罐体(3)的上端，且所述出气管(5)外依次设有电加热装置和绝缘层，其中，所述出气管(5)采用倾斜设计，且所述出气管(5)的低端设有储水管(7)，用于储存和排放出气管(5)中冷凝的液体，且该储水管(7)上设有调节阀(6)。

2.如权利要求1所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述加湿器罐体(3)上设有液位检测器(8)和压力检测器(9)。

3.如权利要求2所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述调节管(2)上设有氮气流量检测装置(10)和手动调节阀(11)。

4.如权利要求3所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述出气管(5)的末端依次连接有加湿气流量检测装置(12)和加湿气流量控制装置(13)。

5.如权利要求4所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述出气管(5)从加湿器罐体(3)的连接一端向上倾斜设计，且所述储水管(7)设于所述靠近加湿器罐体(3)处的出气管(5)的低端。

6.如权利要求5所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述出气管(5)的倾斜角度为10～15°。

7.如权利要求6所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述加湿器罐体(3)内采用脱盐水对气体进行加湿，且所述加湿器罐体(3)内设有喷雾装置(14)。

8.如权利要求7所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述加湿器罐体(3)上设有脱盐水补水管(15)，且脱盐水补水管(15)上设有补水阀(16)。

9.如权利要求8所述的一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：所述出气管(5)上设有出气阀(17)。

10.如权利要求9所述的一种退火炉加湿器管路系统的操作方法，其特征在于，

其包括如下步骤：

a、打开外接混合气体站连接管上的调节阀(6)，手动打开氮气进气管(1)上的调节阀(6)，手动打开出气管(5)上的加湿气流量控制装置(13)至100％；

b、打开氮气进气管(1)上的调节阀(6)开启一半，打开储水管(7)上的调节阀(6)进行排水；

c、关闭加湿气流量控制装置(13)，恢复为自动状态；

d、手动打开调节管(2)上的手动调节阀(11)，并观察调节管(2)上设置的氮气流量检测装置(10)的显示值，显示值为8m3/h后停止调节手动调节阀(11)；

e、将氮气进气管(1)上的调节阀(6)改为自动状态；

f、打开出气管(5)上的出气阀(17)和加湿器罐体(3)上设有的补水阀(16)；

g、启动加湿器罐体(3)对氮气完成加湿；

h、氮气加湿完毕后，关闭加湿器罐体(3)，同时关闭外接混合气体站连接管上的调节阀(6)、关闭氮气进气管(1)上的调节阀(6)、出气管(5)上的出气阀(17)和调节管(2)上的手动调节阀(11)。