[发明专利]一种改进型的离子束垂直角度测量方法有效
| 申请号： | 201710383019.2 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN108931808B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 岳腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 离子束 垂直 角度 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进型的离子束垂直角度测量方法，硬件平台包括检测光栏阵列(1)、法拉第杯(2)及相应控制系统，其特征在于，具体测量方法包括：
通过硬件平台测量得到不同的光栏倾斜角下通过的离子束流强度；
利用公式(1)对不同光栏倾斜角下通过的离子束流强度数据进行拟合分析，计算得到离子束流的垂直方向角度，公式(1)为：
其中，D为法拉第杯输出的离子束流强度数据，D0为剂量系数，L1和L2为长度系数，θ0为拟合角度，即垂直方向角度。
2.如权利要求1所述的一种改进型的离子束垂直角度测量方法，其特征在于：通过运行离子注入机参考菜单，得到离子束垂直角度的参考零点，并对所述垂直方向角度进行修正。
3.如权利要求2所述的一种改进型的离子束垂直角度测量方法，其特征在于：监测修正好后离子束垂直方向角度，若其超出一定范围，返回报错信号。
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