[发明专利]真空密封装置及包含其的真空操纵系统

说明书

本发明公开了一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统，所述真空密封装置包括：箱体，箱体设有真空腔和若干驱动孔，驱动孔与真空腔连通；驱动部件，驱动部件穿设于驱动孔，且驱动部件的两端分别位于真空腔内和箱体外；波纹管，波纹管用于密封驱动部件和驱动孔之间的间隙。所述真空操纵系统包括如上所述的真空密封装置。本发明的真空密封装置通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本发明的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。

技术领域

本发明涉及一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于设有真空腔的真空密封装置外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空密封装置的真空腔中的。但是，现有技术中的真空密封装置存在体积过大、结构复杂的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中真空密封装置存在体积过大、结构复杂的缺陷，提供一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

一种真空密封装置，其特点在于，所述真空密封装置包括：

箱体，所述箱体设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；

驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和所述箱体外；

波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙。

在本技术方案中，通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本发明的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。

较佳地，所述箱体包括：

主体框架，所述主体框架设有第一真空腔和开口，所述开口与所述第一真空腔连通；

操纵器躯干，所述操纵器躯干对应于所述开口设置，且所述操纵器躯干密封连接于所述主体框架，所述操纵器躯干设有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔与所述第一真空腔连通并形成所述真空腔，所述驱动孔设于所述操纵器躯干。

在本技术方案中，通过设置操纵器躯干，缩小了真空密封装置的整体体积，并简化了真空密封装置的结构。

较佳地，所述操纵器躯干可拆卸地连接于所述主体框架。

较佳地，所述波纹管对应于所述驱动部件设置，且所述波纹管的一端密封连接于所述箱体的外壁，所述波纹管的另一端与所述驱动部件连接，所述驱动部件穿设于所述波纹管。

较佳地，所述驱动部件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件的移动方向和第二驱动部件的移动方向设有夹角。

在本技术方案中，通过设置不同移动方向的第一驱动部件和第二驱动部件，实现了被驱动物在真空腔中不同方向的移动。

较佳地，所述夹角为90度。

较佳地，所述第一驱动部件包括一驱动臂，所述驱动臂为L形。

较佳地，所述驱动臂包括驱动杆和驱动连接杆，所述驱动杆的一端与所述波纹管连接，所述驱动杆的中心轴线与所述第一驱动部件的移动方向平行，所述驱动连接杆的中心轴线垂直于所述驱动杆的中心轴线，且所述驱动连接杆的一端套设于所述驱动杆的另一端。