[发明专利]一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置有效

专利信息
申请号: 201710373940.9 申请日: 2017-05-24
公开(公告)号: CN107132379B 公开(公告)日: 2019-10-22
发明(设计)人: 王保敏;盛萍;杨华礼;魏加峰;陈斌;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: G01Q70/02 分类号: G01Q70/02
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 扫描 探针 显微镜 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,探针通过所述的探针夹持装置固定在扫描器上,扫描器带动探针产生与样品之间的相对位移,所述的探针具有导电性与导热性;其特征是:所述的探针夹持装置包括电路主板、探针定位块,导电支撑块,以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具;

所述的电路主板设置第一凹槽;在第一凹槽中,导电支撑块位于电路主板上,与电路主板之间电连通,探针定位块位于导电支撑块上,与导电支撑块形成电连通;

探针定位块设置第二凹槽,用于放置探针;

电路主板与扫描器之间电连通,探针定位块与扫描器之间电连通;激励信号源一激励电信号,该电信号流入探针、样品,大地,形成电回路,经采集分析得到样品的电信号;

所述的夹具包括与探针相接触的夹片;激励信号源二的正负极通过夹片上的两条电引线与探针形成热学回路,探针与样品接触时进行热交换,使热学回路中的电信号发生变化,经采集分析得到样品的热信号。

2.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:扫描器通过插合方式与电路主板上的信号线缆实现电连接。

3.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的激励信号源一集成在扫描器上,探针定位块与探针电连通。

4.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:电路主板包括两个过孔焊盘,一个过孔与其焊点由信号线实现与扫描器的电连接,另一个过孔与其焊点由信号线实现与探针定位块的电连接。

5.如权利要求4所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:过孔中的插孔为两个冠簧插孔。

6.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的激励信号源二集成在扫描器上。

7.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:电路主板包括一个过孔焊盘,其焊点由信号线实现与夹片上的两条电引线的电连接。

8.如权利要求1所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的两条电引线设置在夹片与探针相接触的表面,分别连接探针的上、下表面,与激励信号源一形成热学回路。

9.如权利要求1至8中任一权利要求所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的第二凹槽与水平面形成一定夹角。

10.如权利要求9所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述夹角为10°。

11.如权利要求1至8中任一权利要求所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的夹具为弹性夹具。

12.如权利要求11所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:弹性夹具包括夹片、弹簧、以及连接件;夹片通过连接件可活动地连接在电路主板上,弹簧位于夹片一端与电路主板之间,弹簧提供弹力,使夹片另一端夹住探针使其固定在探针定位块上。

13.如权利要求12所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:电路主板设置第三凹槽,第三凹槽中放置弹簧。

14.如权利要求12所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:所述的连接件包括夹片上的固定孔、螺丝,以及电路主板上的螺孔,螺丝穿过固定孔后与螺孔进行螺纹连接,所述夹片可相对电路主板进行前推或者后拉。

15.如权利要求12所述的用于扫描探针显微镜的探针夹持装置,其特征是:夹片的另一端有个弯角结构。

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