[发明专利]基于表面等离子波导的新型发光二极管在审
| 申请号： | 201710371326.9 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107086259A | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朱君;徐汶菊 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/10;H01L33/12 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 表面 等离子 波导 新型 发光二极管 | ||
【权利要求书】：
1.基于表面等离子波导的新型发光二极管，其特征是，包括自下而上顺序叠接的n-GaAs层、InGaN-GaAs多量子阱层、p-GaAs层和Ag金属光栅层，所述p-GaAs层刻蚀有光栅结构ITO缓冲层。
2.根据权利要求1所述的表面等离子波导的新型发光二极管，其特征是，所述光栅结构为周期性楔形光栅结构。
3.根据权利要求1所述的表面等离子波导的新型发光二极管，其特征是，所述Ag金属光栅层5与光栅结构ITO缓冲层为典型的金属-介质结构。
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