[发明专利]一种光刻胶供应装置

权利要求书

1.一种光刻胶供应装置，用于向一喷嘴提供光刻胶，其特征在于，所述光刻胶供应装置包括：通过管道顺次连接的第一存储装置、消耗侦测装置、第二存储装置和泵浦，所述第一存储装置、消耗侦测装置和第二存储装置均用于存储光刻胶，所述泵浦用于将光刻胶抽至所述喷嘴；其中，

所述第一存储装置上设置有第一气体通道；

所述消耗侦测装置上设置有第二气体通道或者所述第一存储装置与所述消耗侦测装置之间的管道上设置有第二气体通道；所述第二气体通道上设置有第一阀门；

所述第二存储装置上设置有第三气体通道或者所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上设置有第三气体通道；所述第三气体通道上设置有第二阀门；

所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上设置有第三阀门；

所述第一存储装置报空时，所述第一阀门开启；所述第一存储装置未报空时，所述第一阀门闭合；所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上没有光刻胶流过时，所述第二阀门开启，所述第三阀门闭合；所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上有光刻胶流过时，所述第二阀门闭合，所述第三阀门开启；

所述第一气体通道、第二气体通道及第三气体通道均用于通入洁净的、不与光刻胶发生反应的气体。

2.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一存储装置上设置有第一检测器或者所述第一存储装置与所述消耗侦测装置之间的管道上设置有第一检测器；所述第一检测器控制所述第一阀门的开合。

3.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述消耗侦测装置与所述第二存储装置之间的管道上设置有第二检测器，所述第二检测器控制所述第二阀门和所述第三阀门的开合。

4.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一气体通道与所述第二气体通道相连。

5.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一存储装置和所述消耗侦测装置之间的管道上设置有第四阀门。

6.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述消耗侦测装置和所述第二存储装置上都设置有排泡管道。

7.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第二存储装置的容量大于所述第一存储装置。

8.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述消耗侦测装置与所述第三阀门之间的管道上还设置有过滤装置。

9.如权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一阀门为单向阀门。