[发明专利]薄膜水汽透过率的测试方法

权利要求书

1.一种薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在基板上蒸镀钙薄膜层；

S2、在保护气体下，通过原子层沉积方法在所述基板上沉积封装薄膜层，所述封装薄膜层覆盖所述钙薄膜层，获得待测薄膜器件；

S3、采用开尔文四探针法对步骤S2获得的所述待测薄膜器件进行测试，获得所述待测薄膜器件中钙薄膜层的随时间t变化的电导率曲线，提取所述曲线线性部分的斜率：d(1/R)/dt，代入下式，得到所述待测薄膜器件的薄膜水汽透过率η_WVTR：

ηWVTR=-nM(H2O)M(Ca)δρLWd(1R)dt]]>

式中，n为25℃温度下水汽透过特征系数，n＝2.556×10^-5m²/s；M(H₂O)为水的摩尔质量，M(Ca)为钙的摩尔质量，δ为钙电阻率，ρ为钙密度，L为钙薄膜层的长度，W为钙薄膜层的宽度。

2.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S1中，所述基板选用玻璃基板。

3.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S1中，所述钙薄膜的厚度为20-1000nm。

4.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S2中，所述保护气体为氮气；所述封装薄膜层的厚度为20-1000nm。

5.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S2中，使用金属有机化合物和水作为前驱体，在所述基板上沉积所述封装薄膜层。

6.根据权利要求5所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S2中，所述金属有机化合物包括三甲基铝；沉积的所述封装薄膜层为Al₂O₃封装薄膜层。

7.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S3中，测试温度为0-100℃，相对湿度为10-100％。

8.根据权利要求1-7任一项所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，步骤S3中，通过开尔文四探针装置对步骤S2获得的所述待测薄膜器件进行测试。

9.根据权利要求8所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，所述开尔文四探针装置中，测试探针输出测试信号线，安插在转接板上；转接板将获得的测试数据传输至数字源表上的多通道测试板卡。

10.根据权利要求9所述的薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，所述开尔文四探针装置中，所述数字源表通过两路RS232串口与上位机进行全双工通信；

当所述钙薄膜层腐蚀断开时，所述上位机接收到指令，关闭对所述钙薄膜层采样，并对获得的测试数据进行储存，完成测试。