[发明专利]检查装置

说明书

本发明提供一种使用放射线的检查装置，防止放射线的泄漏并缩短检查时间。检查装置具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室，搬入准备室和搬出准备室分别具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置，使搬入的检查对象物沿与搬入方向不同的方向平行移动至第二开口部；以及搬出装置，使检查对象物沿着与移动装置的移动方向不同的方向移动，将检查对象物从第二开口部搬出，拍摄室具有拍摄装置，拍摄装置拍摄从搬入准备室搬入的检查对象物，移动装置具有：载置部，载置检查对象物；以及屏蔽构件，与载置部一起移动，屏蔽从第一开口部或第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。

技术领域

本发明涉及使用放射线的检查装置。

背景技术

已知有使用X射线拍摄获得的图像信息来对检查对象进行非破坏性检查的技术。例如，在专利文献1公开了通过X射线CT(computer tomography：计算机断层扫描)重建基板安装部件的3D数据，根据该3D数据检查焊接好坏等的方法。这种X射线检查装置能够对检查对象的内部结构、细微结构进行高精度的检查，因此开始被应用于各种工业产品生产线的自动检查等。

在流水线(Inline)上利用的检查装置，为了防止在检查工序中停滞，要求尽可能地缩短检查的周期时间。因此，如专利文献2所示已知有如下的结构：设置两条搬运线(称为双轨道)，通过在对一条搬运线的检查对象进行检查期间，在另一条搬运线上将下一个搬运对象搬运至检查位置，从而使实际搬入时间接近0。

但是，若想将这样的机构应用于X射线检查装置，需要在照射X射线中将下一个检查对象搬入装置内，因此需要采取防止X射线向装置外泄漏的措施。

另一方面，在记载于专利文献3的检查装置中，以在搬入部和搬出部分别设置双重的挡板而不使拍摄部露出外部的方式，对检查对象物进行搬入搬出。由此，能够防止X射线泄漏，并且能够迅速交接检查对象。

专利文献1：日本特开2009-156788号公报

专利文献2：日本特开2000-12999号公报

专利文献3：日本特开2014-098567号公报

但是，如记载于专利文献3的检查装置那样，设置多个屏蔽用挡板时，存在挡板的结构、控制变得复杂，装置的成本上升的问题。此外，将记载于专利文献3的发明应用于双轨道结构时，存在挡板的尺寸大型化，导致速度降低的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供在使用放射线的检查装置中，防止放射线泄漏并缩短检查时间的技术。

本发明第一方式的检查装置是具有搬入准备室、拍摄室及搬出准备室三个区域的检查装置。

具体地，检查装置的特征在于，上述搬入准备室和搬出准备室各自具有：搬入装置，从第一开口部搬入检查对象物；移动装置(Traverser)，使搬入的上述检查对象物沿着与搬入方向不同的方向平行移动第二开口部；以及搬出装置，使上述检查对象物沿着与上述移动装置的移动方向不同的方向移动，将上述检查对象物从第二开口部搬出，上述拍摄室具有拍摄装置，上述拍摄装置拍摄从上述搬入准备室搬入的上述检查对象物，上述移动装置具有：载置部，载置上述检查对象物；以及屏蔽构件，与上述载置部一起移动，屏蔽从上述第一开口部或上述第二开口部入侵并向该移动装置的移动方向传播的放射线，以使放射线不到达另一开口部。

拍摄室是利用以X射线为首的放射线对检查对象物进行拍摄的区域。此外，搬入准备室是用于使向拍摄室搬入的检查对象物待机的区域，搬出准备室是用于排出拍摄结束的检查对象物的区域。

在利用放射线进行拍摄的检查装置，存在检查对象物出入拍摄室时，放射线泄漏的风险。因此，本发明的检查装置通过设置搬入准备室和搬出准备准备室，来在各准备室内部屏蔽放射线。