[发明专利]一种硅料回收酸洗方法及装置

说明书

本发明公开了一种硅料回收酸洗方法，包括步骤：1)对回收的四周硅料进行酸洗；2)将步骤1)中使用过的酸液储存于蓄酸箱中，通过上述方法，可将使用过的酸液储存起来，重复利用，比如可将回收的酸液继续用于酸洗作业，或用于其他用途，通过对于酸液的再利用，能够大幅减少酸洗作业中酸液的消耗量，从而实现减少污染物的排放，保护环境的目的。本发明还提供了一种硅料回收酸洗装置。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种硅料回收酸洗方法及装置。

背景技术

高纯硅料是半导体行业和光伏行业的最基础原料，在行业中所占成本也较高，尤其是在光伏行业中，高纯硅料约占总成本的20％，因此，为节约成本，必须要对生产过程中产生的高纯硅边角料进行回收。

在生产时，首先将高纯多晶硅做成晶锭，即通过拉制单晶或铸锭多晶生产成单晶晶锭或多晶晶锭，每个晶锭都是只使用中间的芯部分，四周的硅料经过回收处理再次作为原料生产使用，回收四周硅料时，需要对四周硅料进行酸洗以去除表面杂质、油污等，常规的酸洗方法是使用氢氟酸长时间浸泡，然后将使用过的酸液排掉，上述过程中需消耗大量的氢氟酸，酸洗过程中产生的废气、酸液、废物对环境的污染非常严重，尤其是氟离子属于严重污染物，处理难度大，对于生产厂家来说环保压力巨大。

因此，如何改善硅料回收酸洗方法，使其能够降低酸液的消耗，减少污染物的排放，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种硅料回收酸洗方法及装置，以达到使其能够降低酸液的消耗，减少污染物的排放的目的。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅料回收酸洗方法，包括步骤：

1)对回收的四周硅料进行酸洗；

2)将所述步骤1)中使用过的酸液储存于蓄酸箱中。

优选地，将所述蓄酸箱中的酸液回流至将酸液排出的原酸洗槽中重复使用。

优选地，所述原酸洗槽包括多个浸泡槽，至少将其中一个所述浸泡槽中的酸液储存于所述蓄酸箱中。

优选地，至少将最后一个所述浸泡槽中的酸液存储于所述蓄酸箱中。

优选地，所述蓄酸箱储存第一酸洗槽中的酸液，并将酸液供给第二酸洗槽继续使用。

优选地，所述第一酸洗槽包括多个第一浸泡槽，至少将其中一个所述第一浸泡槽中的酸液储存于所述蓄酸箱中并供给所述第二酸洗槽继续使用。

优选地，至少将最后一个所述第一浸泡槽中的酸液储存于所述蓄酸箱中并供给所述第二酸洗槽使用。

优选地，所述第二酸洗槽包括多个第二浸泡槽，所述蓄酸箱中的酸液至少供给其中一个所述第二浸泡槽使用。

优选地，所述蓄酸箱中的酸液至少供给第一个所述第二浸泡槽使用。

一种硅料回收酸洗装置，包括酸洗槽、排酸管、供酸管以及蓄酸箱，所述酸洗槽内的酸液经过所述排酸管进入所述蓄酸箱，所述蓄酸箱内的酸液经过所述供酸管流向所述酸洗槽。

优选地，所述酸洗槽包括多个浸泡槽，所述排酸管以及所述供酸管均与至少一个浸泡槽连通。

优选地，所述排酸管与最后一个所述浸泡槽连通，所述供酸管与第一个所述浸泡槽连通。

优选地，所述酸洗槽包括至少两个，所述排酸管与至少一个所述酸洗槽连通，所述供酸管与剩余的所述酸洗槽连通。