[发明专利]显示装置

说明书

本发明涉及显示装置。本发明要解决的课题为改善针对水分的阻隔特性，从而实现可靠性高的有机EL显示装置。本发明的解决手段为一种有机EL显示装置，其特征在于，是在基板(100)上形成TFT、在所述TFT之上形成有机EL层(112)的有机EL显示装置，在所述有机EL层(112)之上形成保护层(114)，在所述基板(100)与所述TFT之间形成有包含AlOx的第一阻隔层(10)。

技术领域

本发明涉及显示装置，特别涉及能够使基板弯曲的柔性显示装置。另外，涉及将氧化物半导体用于TFT的柔性显示装置。

背景技术

关于有机EL显示装置、液晶显示装置，通过将显示装置设置的较薄，从而能够将其柔性地弯曲并进行使用。这种情况下，通过薄玻璃或者薄树脂来形成用以形成元件的基板。有机EL显示装置由于不使用背光源，因此在薄型化方面更加有利。

液晶显示装置、有机EL显示装置具有导电层、无机绝缘层、有机绝缘层、半导体层等多层的层结构。若将热膨胀系数不同的层层叠的话，由此会在膜中产生应力，有时在薄膜中产生裂纹、剥离。

专利文献1中记载了为了缓和形成了有机绝缘膜和ITO(氧化铟锡，Indium TinOxide)时的、膜间的应力，而在有机绝缘膜与ITO之间配置SiOx₂膜和Cr₂O₃膜的层叠结构的构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-317649号公报

发明内容

为了控制施加至像素的信号，使用TFT(薄膜晶体管，Thin Fim Transistor)。一直以来，TFT中使用了a-Si(Amorphous-Si，无定形硅)、Poly-Si(多晶硅)。另一方面，因为使用了氧化物半导体的TFT的漏电流小，所以能够长期稳定地保持像素电极的电压，因此近年来受到瞩目。但是，氧化物半导体具有不耐受水分、氢的性质。

另一方面，在有机EL显示装置中，构成发光层的有机EL材料由于水分的存在而分解、性能劣化。因而，为了确保工作寿命，需要保护有机EL层使其不受水分的损害。作为针对水分等的阻隔件，一直以来使用了SiOx(本说明书中述及SiOx时，意思是以SiO₂为基本结构，一般而言表示偏离化学计量组成(Stoichiometry)x＝2)、或者SiNx(本说明书中述及SiNx时，意思是以Si₃N₄为基本结构，一般而言表示偏离化学计量组成x＝4/3)的层叠膜。

但是，就SiOx或者SiNx等而言，针对水分、氢等的阻隔性能不充分。本发明的课题在于，保护TFT、有机EL层不受水分、氢的损害，并实现长寿命的显示装置。

用于解决问题的手段

本发明是克服上述问题的发明，代表性的方案如下所述。

(1)一种有机EL显示装置，其特征在于，为在基板上形成TFT、在所述TFT之上形成有机EL层的有机EL显示装置，在所述有机EL层之上形成保护层，在所述基板与所述TFT之间形成有包含AlOx的第一阻隔层。

(2)(1)中所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第一阻隔层由第一AlOx与第二AlOx的层叠结构形成。

(3)一种液晶显示装置，其特征在于，在第一基板上形成TFT和像素电极，与所述第一基板相对地配置第二基板，在所述第一基板与所述第二基板之间夹持有液晶，

在所述TFT与所述第一基板之间形成有包含AlOx的第一阻隔层。

(4)(3)所述的液晶显示装置，其特征在于，所述第一阻隔层由第一AlOx与第二AlOx的层叠结构形成。

附图说明