[发明专利]用于静电卡盘粘合剂的永久性二次侵蚀约束

权利要求书

1.一种衬底处理系统中的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：

基板，

布置在所述基板上的陶瓷层，所述陶瓷层被布置成支撑衬底；

布置在所述陶瓷层和所述基板之间的粘合层；以及

围绕所述粘合层的外周布置在所述陶瓷层和所述基板之间的密封件，其中所述密封件包括：

内层，其形成在所述粘合层相邻处，其中所述内层包括第一材料，以及

外层，其形成在所述内层相邻处使得所述内层在所述外层和所述粘合层之间，其中所述外层包括第二材料。

2.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一材料是聚合物。

3.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第一材料包括硅酮和环氧树脂中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第二材料是特氟龙。

5.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述外层包括O形环。

6.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述外层包括包含不同于所述第二材料的第三材料的芯。

7.根据权利要求6所述的衬底支撑件，其中所述第三材料是全氟弹性体聚合物。

8.根据权利要求6所述的衬底支撑件，其中所述第三材料具有比所述第二材料高的弹性。

9.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第二材料具有比所述第一材料高的对等离子体的抗性。

10.一种方法，其包括：

在衬底处理系统中的衬底支撑件的基板上布置陶瓷层，所述陶瓷层被配置成支撑衬底；

在所述陶瓷层和所述基板之间布置粘合层；以及

围绕所述粘合层的外周在所述陶瓷层和所述基板之间布置密封件，其中所述密封件包括：

内层，其形成在所述粘合层相邻处，其中所述内层包括第一材料，以及

外层，其形成在所述内层相邻处使得所述内层在所述外层和所述粘合层之间，其中所述外层包括第二材料。