[发明专利]一种新型铝箔纳米复合介质生产工艺

权利要求书

1.一种新型铝箔纳米复合介质生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、选材：选用铝光箔、腐蚀箔或化成箔作为基材；

(2)、热喷涂：基材的表面通过等离子热喷涂技术将高介电常数纳米级材料均匀涂覆于基材的表面，在基材的表面形成稳定的5-10μm的复合介质层；

(3)、电化学处理：通过电化学方法将复合介质层中可能存在的缝隙形成一层与Al₂O₃密合的5-10μm的致密复合介质层，从而提高相对介电常数ε_r。

2.根据权利要求1所述的一种新型铝箔纳米复合介质生产工艺，其特征在于，所述的高介电常数纳米级材料为钛、钛氧化物以及钛酸钡、锡、锆、锌的一种或多种，所述高介电常数纳米级材料的目数不大于100纳米，所述的高介电常数纳米级材料通过球磨的方法形成微米级的纳米团聚物后，再通过4500-5500℃的热熔化后经等离子喷涂设备的等离子枪均匀涂覆于基材的表面。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型铝箔纳米复合介质生产工艺，其特征在于，所述的电化学处理为将基材置于无机或有机酸及其盐的3-15％水溶液中，按要求的电压和电流进行电化学处理，以填补基材表面的复合介质层在热喷涂过程中产生缝隙，使基材的表面形成致密复合介质层。