[发明专利]激光二极管芯片在审
申请号: | 201710348142.0 | 申请日: | 2017-05-17 |
公开(公告)号: | CN107394584A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 克里斯托夫·艾希勒;特雷莎·武尔姆 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 丁永凡,李建航 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光二极管 芯片 | ||
1.一种激光二极管芯片(10),所述激光二极管芯片包括:
-n型半导体区域(3),
-p型半导体区域(5),
-设置在所述n型半导体区域(3)和所述p型半导体区域(5)之间的有源层(4),所述有源层构成为单量子阱结构,其中
-所述单量子阱结构具有量子阱层(43),所述量子阱层设置在第一势垒层(41)和第二势垒层(42)之间,其中所述第一势垒层(41)朝向所述n型半导体区域(3),并且所述第二势垒层(42)朝向所述p型半导体区域(5),
-所述量子阱层(43)的电子带隙EQW小于所述第一势垒层(41)的电子带隙EB1并且小于所述第二势垒层(42)的电子带隙EB2,并且
-所述第一势垒层(41)的电子带隙EB1大于所述第二势垒层(42)的电子带隙EB2。
2.根据权利要求1所述的激光二极管芯片,
其中对于所述第一势垒层(41)的电子带隙和所述第二势垒层(42)的电子带隙的差适用的是:EB1-EB2≥0.04eV。
3.根据权利要求2所述的激光二极管芯片,
其中对于所述第一势垒层(41)的电子带隙和所述第二势垒层(42)的电子带隙的差适用的是:EB1-EB2≥0.1eV。
4.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)和所述第二势垒层(42)分别具有
InxAlyGa1-x-yN,其中0≤x≤1、0≤y≤1并且x+y≤1。
5.根据权利要求4所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)的铝含量y大于所述第二势垒层(42)的铝含量y。
6.根据权利要求4或5所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)的铟含量x小于所述第二势垒层(42)的铟含量x。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)具有InxAlyGa1-x-yN,其中0≤x≤0.07、0≤y≤0.1并且x+y≤1。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第二势垒层(42)具有InxAlyGa1-x-yN,其中0≤x≤0.1、0≤y≤0.07并且x+y≤1。
9.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)具有在0.25nm和30nm之间的厚度。
10.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第二势垒层(42)具有至少10nm的厚度。
11.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第一势垒层(41)是掺杂的,并且所述第二势垒层(42)是未掺杂的。
12.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中在所述第一势垒层(41)中的掺杂物质浓度在1×1017cm-3和3×1019cm-3之间。
13.根据上述权利要求中任一项所述的激光二极管芯片,
其中所述第二势垒层(42)包括多个子层(42A,42B,42C),所述子层具有不同大的带隙和/或掺杂物质浓度。
14.根据权利要求13所述的激光二极管芯片,
其中所有处于距所述量子阱层(43)至少10nm的间距的所述子层(42A,42B,42C)都不具有比更靠近所述量子阱层(43)设置的子层(42A,42B,42C)更大的带隙。
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