[发明专利]透射率分布测量系统及方法

权利要求书

1.一种透射率分布测量系统，其特征在于，包括出光装置、平移台、成像装置以及控制装置，所述平移台用于放置待测样品，所述平移台位于所述出光装置与所述成像装置之间，所述成像装置与所述控制装置耦合；

当待测样品置于所述平移台上时，所述出光装置发出的探测光束入射到所述待测样品的待测区域，透过所述待测样品的探测光束入射到所述成像装置，在所述成像装置中所成的像被转换为电信号发送给所述控制装置；

所述控制装置用于根据所述电信号得到所述待测区域的透射图像，根据所述透射图像及基准图像得到所述待测样品的待测区域的透射率分布数据，其中，所述基准图像为所述成像装置采集的所述出光装置发出的探测光束的图像。

2.根据权利要求1所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述出光装置包括光源和光束调整模块，所述光源发出的初始光束经所述光束调整模块调整为满足预设条件的所述探测光束后入射到所述待测样品的待测区域。

3.根据权利要求2所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述光源为激光器，所述光束调整模块包括匀光片，所述激光器发出的激光光束入射到所述匀光片，经所述匀光片处理为预设尺寸的均匀光束作为所述探测光束入射到所述待测样品。

4.根据权利要求3所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述光束调整模块还包括分光器和稳功仪，所述稳功仪与所述激光器耦合，所述分光器设置于所述激光器与所述匀光片之间，所述激光器发出的激光光束入射到所述分光器，经所述分光器分出的一部分所述激光光束入射到所述匀光片，另一部分所述激光光束入射到所述稳功仪，所述稳功仪用于根据接收到的激光光束控制所述激光器的输出功率。

5.根据权利要求2所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述光源为面阵LED。

6.根据权利要求2所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述光束调整模块包括滤光片，所述光源发出的光束经过所述滤光片后形成的所述探测光束入射到所述待测样品的待测区域。

7.根据权利要求2所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述光束调整模块包括光阑，所述光源发出的光束入射到所述光阑，通过所述光阑的通光孔的光束作为所述探测光束入射到所述待测样品。

8.根据权利要求1所述的透射率分布测量系统，其特征在于，所述成像装置为CCD图像传感器阵列。

9.一种透射率分布测量方法，其特征在于，应用于权利要求1-8中任一项所述的透射率分布测量系统，所述方法包括：

控制平移台移动以使得所述出光装置发出的探测光束对放置于所述平移台上的待测样品的各待测区域进行扫描；

根据基准图像以及成像装置接收到所述待测样品每个所述待测区域透射的探测光束后发送的该待测区域的透射图像得到所述待测样品的透射率分布数据，其中，所述基准图像为所述成像装置采集的所述出光装置发出的探测光束的图像。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述控制平移台移动以使得所述出光装置发出的探测光束对放置于所述平移台上的待测样品的各待测区域进行扫描，包括：

获取所述待测样品的形状及尺寸数据；

根据所述出光装置发出的探测光束的形状及尺寸数据以及所述待测样品的形状及尺寸数据得到扫描路径；

驱动所述平移台控制所述待测样品以所述扫描路径移动，以使得所述出光装置发出的探测光束依次入射到所述待测样品的各待测区域。