[发明专利]一种光刻胶瓶在审
| 申请号： | 201710340332.8 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107161475A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱治国;孙国庆 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65D23/00 | 分类号： | B65D23/00;B65D77/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 | ||
1.一种光刻胶瓶，其特征在于，包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊，所述外瓶内部设置有一支撑部，所述支撑部与所述外瓶的底壁的外表面构成一锐角；所述内囊的底壁设置于所述支撑部上；所述外瓶上设置有一开口，所述开口的底壁较所述内囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。
2.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述外瓶上还设置有一气体接口，所述内囊与所述气体接口位于所述支撑部同侧。
3.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述内囊的顶壁与所述外瓶连接；所述内囊的底壁与所述支撑部相匹配。
4.如权利要求3所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述内囊的外形与所述外瓶侧壁的内表面的外形相匹配。
5.如权利要求4所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述内囊的底壁上设置有内囊接口，所述内囊接口位于所述开口内。
6.如权利要求1或5所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述内囊接口的尺寸与所述开口的尺寸相匹配。
7.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述内囊的材料为玻璃或PE材料。
8.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述外瓶的材料为PE材料，并且是黑色，并且100～400nm波长光无法透过。
9.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述外瓶为双层结构。
10.如权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述支撑部将所述外瓶分为相互隔绝的第一部分和第二部分，所述第二部分上设置有一通气孔。
11.如权利要求1-10中任一项所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述外瓶的侧壁的外表面上设置有凹陷部；或者，所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上设置有把手；或者，所述外瓶的侧壁的外表面和或所述外瓶的顶壁的外表面上具有一牵引体。
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