[发明专利]光刻胶组合物及其制备方法、OLED阵列基板及其制备方法有效
申请号: | 201710335687.8 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN107024835B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 李伟;张星;谢蒂旎 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 组合 及其 制备 方法 oled 阵列 | ||
一种光刻胶组合物及其制备方法、有机发光二极管(OLED)阵列基板及其制备方法,该光刻胶组合物包括:碱可溶性树脂、感光单体、热致变色颜料和溶剂,碱可溶性树脂的质量百分含量为10wt%~30wt%,感光单体的质量百分含量为1wt%~12wt%,热致变色颜料的质量百分含量为5wt%~20wt%,溶剂的质量百分含量为40wt%~65wt%;热致变色颜料在加热的条件下颜色会加深。在由该光刻胶组合物形成像素界定层时,在对像素界定层薄膜进行后烘工序之前,其可使光线透过,以提高对位精度;在形成像素界定层的图案后,在进行后烘工序时,该像素界定层中的热致变色颜料会发生不可逆的颜色变化,以使该像素界定层的颜色加深,以实现遮光的效果。
技术领域
本发明的实施例涉及一种光刻胶组合物及其制备方法、有机发光二极管(OLED)阵列基板及其制备方法。
背景技术
有机电致发光二极管(OLED,Organic Light Emitting Diode)是一种有机薄膜电致发光器件,其具有制备工艺简单、成本低、发光效率高、易形成柔性结构等优点。因此,利用有机电致发光二极管的显示技术已成为一种重要的显示技术。
有机电致发光二极管中的像素界定层的材料一般为光刻胶。光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶两大类。随着大规模集成电路工业的飞速发展,集成电路产品及品种的多样化,对光刻胶的性能的要求越来越高,例如,提高光刻胶的分辨率,进而提高其对位精度等。
发明内容
本发明至少一实施例提供一种光刻胶组合物,包括:碱可溶性树脂、感光单体、热致变色颜料和溶剂,所述碱可溶性树脂的质量百分含量为10wt%~30wt%,所述感光单体的质量百分含量为1wt%~12wt%,所述热致变色颜料的质量百分含量为5wt%~20wt%,所述溶剂的质量百分含量为40wt%~65wt%;所述热致变色颜料在加热的条件下颜色会加深。
例如,本发明的实施例提供的光刻胶组合物还包括:有机硅/氟光敏树脂,所述有机硅/氟光敏树脂的质量百分含量为5wt%~10wt%,所述碱可溶性树脂的质量百分含量为10wt%~25wt%,所述感光单体的质量百分含量为1wt%~10wt%,所述热致变色颜料的质量百分含量为5wt%~20wt%,所述溶剂的质量百分含量为40wt%~63wt%。
例如,在本发明的实施例提供的光刻胶组合物中,所述有机硅/氟光敏树脂包括硅倍半氧烷笼结构的有机硅/氟光敏树脂和线性有机硅氟树脂结构的有机硅/氟光敏树脂中的至少之一。
例如,所述热致变色颜料包括:(NH4)3PO4·12MoO3、[Cr(NH3)6]4(P2O7)3、Co(NH3)5Cl3或者含有三芳甲烷类结晶紫内酯及其衍生物。
例如,在本发明的实施例提供的光刻胶组合物中,所述热致变色颜料在190℃~230℃的条件下加热时颜色会加深。
例如,在本发明的实施例提供的光刻胶组合物中,所述碱可溶性树脂包括丙烯酸碱可溶性树脂和聚酰亚胺碱可溶性树脂中的至少之一。
例如,在本发明的实施例提供的光刻胶组合物中,所述感光单体包括重氮萘醌系感光单体。
例如,在本发明的实施例提供的光刻胶组合物中,所述溶剂包括脂肪醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、甲乙酮、甲基异丁基酮、γ-丁内酯、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚醋酸酯、环己烷、二甲苯和异丙醇中的至少之一。
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