[发明专利]基板对盒装置及对盒方法

权利要求书

1.一种基板对盒装置，包括：第一机台以及吸附单元，所述吸附单元包括多个吸附支撑杆以及与所述吸附支撑杆连通的真空吸附系统，所述吸附支撑杆用于吸附待对盒基板，其特征在于，还包括：

支撑单元，包括多个充气模块以及与所述充气模块连通的空气增压系统，所述充气模块通过喷射压缩空气与所述待对盒基板之间形成气垫，以使所述待对盒基板达到预设曲率；

其中，所述吸附支撑杆贯穿于所述第一机台设置且相对于所述第一机台具有可移动性，所述充气模块设置在所述第一机台靠近所述待对盒基板的一侧且与所述第一机台的相对位置恒定。

2.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，每个所述吸附支撑杆均包括轴杆以及连接在所述轴杆末端的吸附盘。

3.根据权利要求2所述的基板对盒装置，其特征在于，所述吸附盘的吸附面形状为圆形或者椭圆形。

4.根据权利要求2所述的基板对盒装置，其特征在于，所述充气模块的表面为多孔吸附表面，所述吸附盘包括黏性吸附表面和内部多孔吸附管道；

其中，所述多孔吸附表面和所述多孔吸附管道的材质为复合碳纳米管多孔材料。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述多个吸附支撑杆以所述第一机台的中心线为对称轴对称设置。

6.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述吸附单元还包括连接所述吸附支撑杆的驱动装置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述支撑单元还包括压力控制模块，用于读取所述待对盒基板的曲率数据，并根据所述曲率数据控制不同位置的所述充气模块中的空气压力；

其中，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递减；

或者，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递增。

8.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，所述真空吸附系统包括：

真空源；真空管道，连通所述真空源与所述吸附支撑杆；

真空控制阀，用于控制所述真空源的开启与闭合；

缓冲腔，连接所述真空源，用于缓冲真空气压；

减压阀，连接在所述真空源与所述缓冲腔之间，用于调节真空气压；

电控阀，连接所述缓冲腔，用于控制真空气源与压缩空气之间的切换；

压力传感器，连接所述电控阀，用于监控所述真空管道内的气压。

9.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，所述空气增压系统包括：

压缩空气源；

压缩空气控制阀，用于控制所述压缩空气源的开启与闭合；

空气管道，连通所述压缩空气源与所述充气模块。

10.一种基板对盒方法，包括利用连通真空吸附系统的吸附支撑杆吸附待对盒基板，其特征在于，还包括：

获取待对盒基板的标准曲率数据，所述标准曲率数据为所述待对盒基板成盒之后对应的曲率数据；

根据所述标准曲率数据调节不同所述吸附支撑杆的相对位置；

利用连通空气增压系统的充气模块喷射压缩空气以与所述待对盒基板之间形成气垫；

确定一参考压力，并以所述参考压力为基准，根据所述标准曲率数据调节所述待对盒基板不同位置对应的所述充气模块中的气体压力；

对各个所述充气模块中的气体压力进行压力特征分析，并将分析结果反馈至压力控制模块，以控制所述充气模块对所述待对盒基板均匀施压；

将所述待对盒基板的当前曲率与所述标准曲率数据进行匹配，匹配成功则准备压盒，匹配失败则重复上述过程直至匹配成功；

调节第一机台和第二机台的相对位置，并控制所述第一机台带动所述待对盒基板向所述第二机台移动，以实现所述待对盒基板与另一基板的对盒。