[发明专利]一种振动传感器

权利要求书

1.一种振动传感器，其特征在于，所述振动传感器包括：

单晶硅基底；

形成于所述单晶硅基底的下表面的梯形开口，其是在所述单晶硅基底的下表面进行刻蚀得到的；

形成于具有梯形开口的单晶硅基底上表面的波形多层结构，所述波形多层结构包括至少一组相对设置的结构层，所述一组结构层包括两层结构层，所述两层结构层中至少一层结构层为波形；

形成于所述波形结构层表面的电极层；

其中，所述至少一组结构层构造成在外力的作用下能够发生相对位移，以检测外界的振动作用。

2.根据权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述波形多层结构包括两组相对设置的结构层。

3.根据权利要求2所述的振动传感器，其特征在于，所述两组结构层中的一组结构层包括相对设置的第一结构层和第二结构层，所述第一结构层为波形，所述第二结构层的截面为直线形；

所述两组结构层中的另一组结构层包括相对设置的第三结构层和第四结构层，所述第三结构层为波形，所述第四结构层的截面为直线形。

4.根据权利要求3所述的振动传感器，其特征在于，所述第二结构层设置成靠近所述第三结构层。

5.根据权利要求3或4所述的振动传感器，其特征在于，所述第一结构层设置成靠近所述第四结构层。

6.根据权利要求5所述的振动传感器，其特征在于，所述第一结构层，其上具有多个第一孔口，所述第一孔口沿着垂直于所述第一结构层的长度方向延伸。