[发明专利]一种旋转式多位阻蒸设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种阻蒸设备，具体是指一种旋转式多位阻蒸设备。

背景技术

阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。我们在对基片镀膜时，常常会对基片采用相同或不同的靶材进行多次镀膜，以确保基片的镀膜质量。

然而，现有的阻蒸镀膜设备多为一位式固定阻蒸镀膜设备，该设备在蒸镀时只能放置一种靶材，不能同时放置多个靶材，当需要对基片进行多次镀膜时，则需关闭阻蒸镀膜设备后通过人工进行添加或更换靶材，导致基片的镀膜时间过长，从而严重的影响了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。

发明内容

本发明的目的在于克服现有的阻蒸镀膜设备的不能同时放置多个靶材，因此不能对基片进行连续的镀膜的缺陷，提供一种旋转式多位阻蒸设备。

本发明的目的通过下述技术方案现实：一种旋转式多位阻蒸设备，主要由安装台，分别设置在安装台上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆，与旋转式电极杆电连接的电极锁紧装置，与旋转式电极杆相连接的驱动电机，以及设置在旋转式电极杆上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成；所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟，所述旋转式电极杆通过同步带连接在驱动电机上。

所述多位阻蒸盘包括电极盘，与蒸发舟一一对应设置并与蒸发舟电连接的从电极耳，设置在从电极耳上并与电极盘相连接的弹性组件；所述从电极耳与从电极锁紧装置电连接。

所述弹性组件包括与从电极耳相连接的绝缘垫，设置在绝缘垫上的安装板，以及一端与安装板相连接、另一端通过加强筋连接在电极盘上的弹性件。

所述旋转式电极杆通过拉紧连接座连接在安装台上，所述旋转式电极杆上分别设置有支持筒和水冷管以及旋转装置，所述旋转装置还分别与支持筒和拉紧连接座相连接，所述旋转式电极杆上还设置有的环形电极盘，所述环形电极盘通过电极抱箍连接在旋转式电极杆上并与电极锁紧装置。

所述旋转装置包括一端与支持筒相连接、另一端与拉紧连接座相连接的旋转真空密封外套，一端通过上轴承安装在旋转真空密封外套上、另一端通过下轴承安装在支持筒上的旋转内轴，以及通过同步带固定键条连接在旋转内轴上且位于下轴承下方的同步带轮：所述旋转式电极杆贯穿旋转内轴，且该旋转式电极杆一端通过静密封与旋转内轴相连接、另一端通过内轴固定键条与旋转内轴相连接，所述同步带轮通过同步带与驱动电机相连接。

所述电极锁紧装置包括与环形电极盘电连接的电极夹紧板，设置在电极夹紧板下方且用于夹紧环形电极盘的压头，以及设置在压头上的第一气缸；所述压头连接在第一气缸的第一伸缩杆上；所述电极夹紧板上设有安装基板，所述第一气缸安装在安装基板上；所述安装基板上设有保持座，所述电极夹紧板通过绝缘板连接在保持座上并位于保持座的下方，所述第一伸缩杆贯穿安装基板与保持座；所述旋转式电极杆贯穿安装基板并通过支持筒连接在安装基板上。

所述从电极锁紧装置包括与从电极耳电连接的从电极座，设置在从电极座上方且用于夹紧从电极耳的夹头，以及设置在夹头上的第二气缸；所述夹头连接在第二气缸的第二伸缩杆上，所述从电极座上设置有导电座，所述导电座通过下绝缘块连接在安装台上并位于安装台的下方，所述安装台上设置有与下绝缘块相匹配的上绝缘块，所述导电座上还设置有安装筒，所述第二伸缩杆贯穿安装筒与导电座，所述第二伸缩杆通过伸缩杆固定座连接在导电座上。

所述蒸发舟的一端通过电极压块连接在电极盘上、其另一端通过从电极压块连接在从电极耳上。

所述驱动电机设置在安装基板上，所述的驱动电机的转轴上设置有用于调节驱动电机转速的变速器，所述变速器的传动轴上设置有通过同步带连接在同步带轮上的传动同步带轮，所述传动同步带轮的下方设置有编码器，所述编码器通过转轴连接套连接在变速器的传动轴上。

所述旋转式电极杆的下端设置有旋转式水接头，所述水冷管贯穿旋转式水接头的安装头后连接在贯穿旋转式水接头的进水接头上。

本发明与现有技术相比具有以下优点及有益效果：