[发明专利]一种有机树脂及其制备方法、显示基板及其制备方法有效
| 申请号: | 201710328882.8 | 申请日: | 2017-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN107141484B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
| 发明(设计)人: | 李海旭 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | C08G77/42 | 分类号: | C08G77/42;C09D183/10;C09D7/65;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有机 树脂 及其 制备 方法 显示 | ||
本发明提供一种有机树脂及其制备方法、显示基板及其制备方法,属于显示技术领域,其可解决现有的半色调工艺中酚醛树脂形成的平坦化层容易在灰化中被损伤的问题。本发明的有机树脂的原料中包括酚醛树脂和有机硅,其中,有机硅分散相与酚醛树脂间形成互穿网络过渡层,使得产品有机树脂的均匀性良好。更主要的是二者结合可增强树脂强度,减少灰化过程的损伤。当其涂覆应用于显示基板后,在后续的灰化工艺中,相较于现有的酚醛树脂,本实施例的有机树脂的损伤速率可降低30‑50%。本发明的显示基板适用于各种显示装置。
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种有机树脂及其制备方法、显示基板及其制备方法。
背景技术
半色调(Half tone)工艺是目前被普遍使用的一种可减少掩膜步骤方法,这种方法可节约生产时间,提高产能。例如,先采用酚醛树脂形成图案化的平坦化层,之后依次形成ITO层、金属层、光刻胶,然后采用光刻胶进行灰化工艺,将ITO层、金属层一步形成过孔。一般该灰化工艺中使用的气体为O2,依靠O2产生的游离态氧原子以及氧离子作用在光刻胶上使光刻胶减薄。
发明人发现现有技术中至少存在如下问题:上述工艺中的酚醛树脂与光刻胶同为有机树脂,两种物质的化学性质类似。因此,两种物质在灰化过程中的反应速率基本一致,即在后续的灰化工艺中,先前形成的酚醛树脂容易被损伤,经过工艺调整后,两种物质的刻蚀速率的选择比在好的情况才能达到0.8左右,难以满足工艺需要。
发明内容
本发明针对现有的半色调工艺中酚醛树脂形成的平坦化层容易在灰化中被损伤的问题,提供一种有机树脂及其制备方法、显示基板及其制备方法。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是:
一种有机树脂,包括以下重量份的原料:酚醛树脂90-95份,有机硅5-10份。
优选的是,所述有机硅包括聚二甲基硅氧烷。
优选的是,所述有机树脂包括以下结构式的聚合物:
其中,m为4-12之间的正整数,n为正整数。
优选的是,所述原料还包括:聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、纤维素衍生物中的任意一种或几种。
优选的是,所述聚乙烯吡咯烷酮与所述酚醛树脂的重量比为:(2-10):(90-98);所述聚乙烯醇与所述酚醛树脂的重量比为:(2-10):(90-98);所述纤维素衍生物与所述酚醛树脂的重量比为:(2-10):(90-98)。
本发明还公开一种有机树脂的制备方法,包括以下步骤:
将有机树脂的原料按重量份混合后于50-150℃的条件下加热60-200s得到有机树脂。
本发明还公开一种显示基板,包括衬底,以及形成于衬底上方的平坦化层,所述平坦化层包括上述的有机树脂形成的第一平坦化层。
优选的是,所述平坦化层还包括由酚醛树脂形成的第二平坦化层,所述第二平坦化层相较于所述第一平坦化层更靠近衬底。
本发明还公开一种显示基板的制备方法,包括以下步骤:
在衬底上形成平坦化层并曝光将所述平坦化层图案化,其中,所述平坦化层包括由上述的有机树脂形成的第一平坦化层;
在所述平坦化层上形成透明导电材料、金属层;
在所述透明导电材料上形成光刻胶并刻蚀、灰化。
优选的是,所述第一平坦化层的曝光量为25-50mj,固化温度为100-150℃,固化时间为100-200s。
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