[发明专利]用于可调激光器的反射镜结构和可调激光器

权利要求书

1.一种用于可调激光器的反射镜结构，其特征在于，包括：

从下至上依次堆叠的衬底层、支撑层、下包层、波导层、上包层和加热器层；

所述反射镜结构还包括超结构光栅，所述超结构光栅沿着光在所述波导层中的传播方向设置在所述上包层与所述下包层之间，所述加热器层位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域；

所述支撑层包括第一子支撑层和第二子支撑层，所述第一子支撑层和所述第二子支撑层沿着光在所述波导层中的传播方向位于所述衬底层的上表面的两侧，所述衬底层、所述第一子支撑层、第二子支撑层和所述下包层之间形成沿着光在所述波导层中的传播方向延伸的空间，

沿着光在所述波导层中的传播方向在所述上包层的上表面上设置有第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口分别位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域的两侧，所述第一开口和所述第二开口向下穿透所述上包层、所述波导层和所述下包层到达所述空间，

所述支撑层还包括位于所述空间内的多个底部支撑结构，所述多个底部支撑结构沿着光在所述波导层中的传播方向排列在所述空间内，用于从底部支撑所述空间上方位于所述第一开口与所述第二开口之间的悬空结构，所述多个底部支撑结构与所述超结构光栅中的多个空间周期一一对应，所述多个空间周期包括第一空间周期和第二空间周期，

第一底部支撑结构对应于所述超结构光栅中的所述第一空间周期的第一区域，第二底部支撑结构对应于所述超结构光栅中的所述第二空间周期的第二区域，所述第一区域在所述第一空间周期中的相对位置与所述第二区域在所述第二空间周期中的相对位置不同，所述第一底部支撑结构和所述第二底部支撑结构为所述多个底部支撑结构中的任意两个底部支撑结构。

2.根据权利要求1所述的反射镜结构，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口在沿着光在所述波导层中的传播方向上分别具有不同的宽度。

3.根据权利要求1所述的反射镜结构，其特征在于，所述悬空结构在沿着光在所述波导层中的传播方向上具有不同的宽度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，还包括：

上阻挡层和下阻挡层，所述上阻挡层位于所述下包层与所述支撑层之间，所述下阻挡层位于所述支撑层与所述衬底层之间。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，还包括：

介质层，所述介质层位于所述上包层和所述加热器层之间，所述加热器层位于所述介质层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域。

6.根据权利要求5所述的反射镜结构，其特征在于，所述介质层还覆盖所述第一开口和所述第二开口的内壁。

7.根据权利要求1至3、6中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，还包括：

缓冲层，所述缓冲层位于所述支撑层和所述衬底层之间。

8.根据权利要求1至3、6中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，所述超结构光栅位于所述上包层中，或部分位于所述上包层且部分位于所述波导层，或位于所述波导层中，或部分位于所述波导层且部分位于所述下包层，或位于所述下包层中。

9.一种可调激光器，其特征在于，包括：

增益区、第一相位区、多模干涉耦合器、第一反射镜结构和第二反射镜结构；

所述第一相位区的第一端与所述增益区的第一端相连，所述第一相位区的第二端与所述多模干涉耦合器的第一端相连，所述多模干涉耦合器的第二端与所述第一反射镜的第一端相连，所述多模干涉耦合器的第三端与所述第二反射镜的第一端相连；

所述第一反射镜结构和所述第二反射镜结构中的至少一个采用如权利要求1至8中任一项所述的反射镜结构。