[发明专利]基于沉积电势控制氧化亚铜半导体导电类型的方法有效

专利信息
申请号: 201710320920.5 申请日: 2017-05-09
公开(公告)号: CN107204284B 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 杨鹰;韩娟;魏蓉;宁晓辉;李简 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: H01L21/208 分类号: H01L21/208;C25D5/02
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 李罡
地址: 710068 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 基于 沉积 电势 控制 氧化亚铜 半导体 导电 类型 方法
【权利要求书】:

1.基于沉积电势控制氧化亚铜半导体导电类型的方法,其特征在于:

由以下步骤实现:

步骤一:用蒸馏水配置摩尔体积浓度为0.05 mol/L的铜盐溶液作为二价铜离子的来源,并将铜盐溶液的pH值调节至酸性,在铜盐溶液中添加一定量的十二烷基硫酸钠,十二烷基硫酸钠在电镀液中的摩尔体积浓度为3mmol/L;铜盐溶液为醋酸铜,pH 值调节至5.0,相应的pH 值调节剂选取醋酸;

步骤二:将所配好的铜盐溶液用磁力搅拌器充分搅拌,得到电镀液,利用恒电势仪在该电镀液中进行电沉积;

电沉积过程中:

FTO或ITO导电玻璃为工作电极,铂片或石墨棒为辅助电极,饱和甘汞电极为参比电极;电镀液的温度保持恒温,温度采用水浴控制,沉积温度为70℃;采用恒电势,沉积电势为相对于饱和甘汞电极0.10 - (–0.30) V;沉积时间为20分钟,得到Cu2O薄膜;

当电势大于或者等于-0.05V时,制得的Cu2O薄膜表现为n型半导体;当电势小于或者等于-0.10V时,Cu2O薄膜表现为p型半导体。

2.基于沉积电势控制氧化亚铜半导体导电类型的方法,其特征在于:

由以下步骤实现:

步骤一:用蒸馏水配置摩尔体积浓度为0.02 mol/L的铜盐溶液作为二价铜离子的来源,并将铜盐溶液的pH值调节至酸性,在铜盐溶液中添加一定量的十二烷基硫酸钠,十二烷基硫酸钠在电镀液中的摩尔体积浓度为3 mmol/L;铜盐溶液为硫酸铜,pH 值调节至5.5,相应的pH 值调节剂选取醋酸;

步骤二:将所配好的铜盐溶液用磁力搅拌器充分搅拌,得到电镀液,利用恒电势仪在该电镀液中进行电沉积;

电沉积过程中:

FTO或ITO导电玻璃为工作电极,铂片或石墨棒为辅助电极,饱和甘汞电极为参比电极;电镀液的温度保持恒温,温度采用水浴控制,沉积温度为室温;采用恒电势,沉积电势为相对于饱和甘汞电极0.30 - (–0.20) V;沉积时间为60分钟,得到Cu2O薄膜;

当电势大于或者等于0.10V时,制得的Cu2O薄膜表现为n型半导体;当电势小于或者等于0.05V时,Cu2O薄膜表现为p型半导体。

3.基于沉积电势控制氧化亚铜半导体导电类型的方法,其特征在于:

由以下步骤实现:

步骤一:用二次蒸馏水配置摩尔体积浓度为0.10 mol/L的铜盐溶液作为二价铜离子的来源,并将铜盐溶液的pH值调节至酸性,在铜盐溶液中添加一定量的十二烷基硫酸钠,十二烷基硫酸钠在电镀液中的摩尔体积浓度为3mmol/L; 铜盐溶液为硝酸铜,pH 值调节至4.0,相应的pH 值调节剂选取醋酸;

步骤二:将所配好的铜盐溶液用磁力搅拌器充分搅拌,得到电镀液,利用恒电势仪在该电镀液中进行电沉积;

电沉积过程中:

FTO或ITO导电玻璃为工作电极,铂片或石墨棒为辅助电极,饱和甘汞电极为参比电极;电镀液的温度保持恒温,温度采用水浴控制,沉积温度为50℃;采用恒电势,沉积电势为相对于饱和甘汞电极0.05-(–0.50) V;沉积时间为600分钟,得到Cu2O薄膜;

当电势大于或者等于-0.20V时,制得的Cu2O薄膜表现为n型半导体;当电势小于或者等于-0.25V时,Cu2O薄膜表现为p型半导体。

4.基于沉积电势控制氧化亚铜半导体导电类型的方法,其特征在于:

由以下步骤实现:

步骤一:用二次蒸馏水配置摩尔体积浓度为0.08 mol/L的铜盐溶液作为二价铜离子的来源,相应的pH 值调节剂选取醋酸;

步骤二:将所配好的铜盐溶液用磁力搅拌器充分搅拌,得到电镀液,利用恒电势仪在该电镀液中进行电沉积;

电沉积过程中:

FTO或ITO导电玻璃为工作电极,铂片或石墨棒为辅助电极,饱和甘汞电极为参比电极;电镀液的温度恒温,温度采用水浴控制,沉积温度为60℃;采用恒电势,沉积电势为相对于饱和甘汞电极0.10 - (–0.30) V;沉积时间为10分钟,得到Cu2O薄膜;

当电势大于或者等于0.10V时,制得的Cu2O薄膜表现为n型半导体;当电势小于或者等于-0.05V时,Cu2O薄膜表现为p型半导体。

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