[发明专利]利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法有效

专利信息
申请号: 201710320235.2 申请日: 2017-05-09
公开(公告)号: CN106970060B 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 钱静;赵全忠 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 利用 激光 加工 系统 诱导 磷光 光谱 测量方法
【权利要求书】:

1.一种利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,该飞秒激光微加工系统包括飞秒激光微加工装置、显微光谱收集装置及温控装置;所述的显微光谱收集装置包括第一微透镜、光纤、第二微透镜以及光谱仪,所述的第一微透镜和第二微透镜均设有螺纹接口,通过螺纹接口与光纤的两端相连;所述的温控装置包括容器、固定在该容器内的样品台、蒸馏水以及可调节温度的智能加热棒;所述的飞秒激光微加工装置包括飞秒激光器、反射飞秒激光的二向色镜、聚焦飞秒激光的显微物镜、载物台和反射镜;所述的容器放在载物台上;其特征在于,该方法包括步骤如下:

①将样品放置在样品台上,使蒸馏水淹没样品;

②启动飞秒激光器,使飞秒激光器出射的飞秒激光经二向色镜反射到显微物镜中,然后经显微物镜聚焦到样品内部,此时调节蒸馏水的水温为0℃,对载物台进行三维移动,实现对样品的精密加工,被激光加工的区域在0℃下不发光;

③加工结束后,将水温加热至室温,此时样品被加工的区域发出长磷光,长磷光被显微物镜搜集后,透过二向色镜,被反射镜反射到第一微透镜中,该第一微透镜将长磷光聚焦耦合到光纤中,再通过第二微透镜将长磷光导入到光谱仪的狭缝中,测量出室温下的光谱;

④每隔n分钟光谱仪采集一次长磷光光谱,直到光谱不被探测到;

⑤用作图软件计算出每个时刻对应的光谱积分强度,得到光谱积分强度随时间衰减图,并作非线性拟合。

2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,其特征在于飞秒激光加工后,将水温升至任意温度,重复权利要求1中步骤④和⑤,可以测量该温度下的长磷光光谱随时间的变化。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所,未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710320235.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top