[发明专利]利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法有效
申请号: | 201710320235.2 | 申请日: | 2017-05-09 |
公开(公告)号: | CN106970060B | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 钱静;赵全忠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 激光 加工 系统 诱导 磷光 光谱 测量方法 | ||
1.一种利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,该飞秒激光微加工系统包括飞秒激光微加工装置、显微光谱收集装置及温控装置;所述的显微光谱收集装置包括第一微透镜、光纤、第二微透镜以及光谱仪,所述的第一微透镜和第二微透镜均设有螺纹接口,通过螺纹接口与光纤的两端相连;所述的温控装置包括容器、固定在该容器内的样品台、蒸馏水以及可调节温度的智能加热棒;所述的飞秒激光微加工装置包括飞秒激光器、反射飞秒激光的二向色镜、聚焦飞秒激光的显微物镜、载物台和反射镜;所述的容器放在载物台上;其特征在于,该方法包括步骤如下:
①将样品放置在样品台上,使蒸馏水淹没样品;
②启动飞秒激光器,使飞秒激光器出射的飞秒激光经二向色镜反射到显微物镜中,然后经显微物镜聚焦到样品内部,此时调节蒸馏水的水温为0℃,对载物台进行三维移动,实现对样品的精密加工,被激光加工的区域在0℃下不发光;
③加工结束后,将水温加热至室温,此时样品被加工的区域发出长磷光,长磷光被显微物镜搜集后,透过二向色镜,被反射镜反射到第一微透镜中,该第一微透镜将长磷光聚焦耦合到光纤中,再通过第二微透镜将长磷光导入到光谱仪的狭缝中,测量出室温下的光谱;
④每隔n分钟光谱仪采集一次长磷光光谱,直到光谱不被探测到;
⑤用作图软件计算出每个时刻对应的光谱积分强度,得到光谱积分强度随时间衰减图,并作非线性拟合。
2.根据权利要求1所述的利用飞秒激光微加工系统诱导长磷光光谱的测量方法,其特征在于飞秒激光加工后,将水温升至任意温度,重复权利要求1中步骤④和⑤,可以测量该温度下的长磷光光谱随时间的变化。
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