[发明专利]开缝矩形波导的分层电铸方法

权利要求书

1.一种开缝矩形波导的分层电铸方法，开缝矩形波导的开缝结构高度为L2, 矩形槽结构高度为L3,其特征在于包括以下过程：

步骤1.制备芯模，芯模由下层结构和上层结构两部分组成，其中下层结构是厚度为L2的微小长方体柱阵列结构，上层结构是厚度是L3为长方体结构，具体制备方法如下：

步骤1-1： 在基片（1）表面涂覆一层厚度为L1的第一层光刻胶（2）；

步骤1-2： 将步骤1-1中经过第一次覆膜的基片（1）放置在光刻机载物台上，用第一次曝光掩模板（3）进行第一次曝光；

步骤1-3：将步骤1-2中经过第一次曝光后的基片（1）放入显影液中进行第一次显影，显影后清洗并干燥，得到芯模下层初步结构，其高度为L1；

步骤1-4：在步骤1-3中经过第一次显影后的基片（1）表面电铸一层厚度为L1的第一层铜（4）；

步骤1-5： 对步骤1-4所得结构表面进行精密抛磨，保证第一层铜（4）和芯模下层结构的厚度为L2；

步骤1-6： 在步骤1-5所得结构表面涂覆一层厚度为L3的第二层光刻胶（5）；

步骤1-7： 将步骤1-6中经过第二次覆膜的基片（1）放置在光刻机载物台上，用第二次曝光掩模板（6）进行第二次曝光；

步骤1-8：将步骤1-7中经过第二次曝光后的基片（1）放入显影液中进行第二次显影，显影后清洗并干燥，得到芯模上层结构；

步骤1-9： 在步骤1-8中经过第二次显影的基片（1）表面盖上掩膜（7），对芯模上层结构上表面进行表面导电化处理形成一层导电膜；

步骤1-10：对第一层铜（4）上表面进行微量电解，去除表面的氧化膜；

步骤1-11：在步骤1-10中去除了氧化膜的第一层铜（4）基础上电铸第二层铜，第一层铜（4）和第二层铜共同组成电铸体（9），芯模位于电铸体（9）中；

步骤2：溶解掉多余的光刻胶，从基片（1）上取下电铸体（9），对表面进行精密抛磨，得到所需外部尺寸；

步骤3：清洗电铸体（9），得到的即为所需的开缝矩形波导（10）。

2.根据权利要求1所述的一种开缝矩形波导的分层电铸方法，其特征在于：在同一个基片上同时加工多个开缝矩形波导。