[发明专利]铬靶坯的加工方法在审
申请号: | 201710307356.3 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN108788187A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;梁泽民 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23B5/00 | 分类号: | B23B5/00;B23B1/00;B23Q11/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴敏 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铬靶 车削加工 待加工面 加工 硬质合金刀片 刀片 硬质合金 表面粗糙度 耐磨性 崩刃 磨损 破损 概率 | ||
1.一种铬靶坯的加工方法,其特征在于,包括:
提供铬靶坯,所述铬靶坯包括待加工面;
采用WC基硬质合金刀片,对所述待加工面进行车削加工。
2.如权利要求1所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述WC基硬质合金的牌号为YG8或YG640。
3.如权利要求1所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述刀片的切削刃角度为80°。
4.如权利要求1所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,对所述待加工面进行车削加工的步骤包括:
对所述待加工面进行粗车加工;
在所述粗车加工后,对所述待加工面进行精车加工。
5.如权利要求4所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述粗车加工的参数包括:切削速度为250米/分钟至350米/分钟,进给量为0.07毫米/转至0.13毫米/转,吃刀量为0.07毫米至0.13毫米。
6.如权利要求4所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述精车加工的参数包括:切削速度为150米/分钟至250米/分钟,进给量为0.05毫米/转至0.09毫米/转,吃刀量为0.03毫米至0.07毫米。
7.如权利要求1所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,对所述待加工面进行车削加工的步骤中,采用切削液进行润滑和冷却。
8.如权利要求7所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述切削液的质量百分比浓度为12%至15%。
9.如权利要求7所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,所述切削液的型号为加德士安快达3380水溶性切削液。
10.如权利要求1所述的铬靶坯的加工方法,其特征在于,在所述车削加工后,所述待加工面作为所述铬靶坯的溅射面。
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