[发明专利]夹具系统以及固定靶材组件的方法

说明书

一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，其中方法包括：提供靶材组件；提供夹具系统，夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端能朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上；之后采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高工艺质量和工艺效率。

技术领域

本发明涉及靶材组件加工领域，尤其涉及一种夹具系统以及固定靶材组件的方法。

背景技术

靶材组件包括靶材、以及与靶材结合并具有一定结合强度的背板。背板在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。为了实现将所述靶材组件安装在溅射基台的目的，通常在背板的底部安装有连接部件，采用连接部件将背板和溅射基台相互连接并相互固定。

在背板的底部安装连接部件的过程中，需要将靶材组件固定。

然而，现有技术中固定靶材组件的工艺质量较差且工艺效率较低。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，以提高工艺质量和工艺效率。

为解决上述问题，本发明提供一种固定靶材组件的方法，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。

可选的，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部。

可选的，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

可选的，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽。

可选的，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

可选的，所述夹具系统还包括气泵装置，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。