[发明专利]探针卡系统、探针载体装置及探针载体装置的制法

权利要求书

1.一种探针载体装置，其特征在于，包括：

一载板；

至少一立体阶梯结构，连接该载板，包含多数个阶状体，所述多数个阶状体朝远离该载板的方向依序递减；以及

至少一探针模块，包含多数个探针层，所述多数个探针层间隔地层叠于该立体阶梯结构内，每一所述探针层包含多数个并排的悬臂式探针，所述探针层的所述多数个悬臂式探针分别从不同的所述阶状体伸出该立体阶梯结构，用以分别触压一待测物的多数个导电接点，

其中每一所述悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一力矩长度，所述探针层的所述多数个悬臂式探针的所述力矩长度彼此相同。

2.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述阶状体还包含：

至少一第一阶面，围绕以形成一第一空间区，其中一部分的所述悬臂式探针从该第一阶面伸出该立体阶梯结构；

至少一第二阶面，围绕以形成一第二空间区，该第二空间区接通该第一空间区，且该第二空间区大于该第一空间区，其中另一部分的所述悬臂式探针从该第二阶面伸出该立体阶梯结构；以及

至少一连接面，邻接该第一阶面与该第二阶面。

3.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述悬臂式探针的该力矩长度为一第一虚拟平面与一第二虚拟平面之间所定义的一最小直线距离，

其中该第一虚拟平面与该第二虚拟平面相互平行，且该第一虚拟平面通过该悬臂式探针的一针端，该第二虚拟平面为对应的该阶状体被该悬臂式探针所伸出的一面。

4.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述悬臂式探针包含相连接的一悬臂段及一弯折部，该悬臂段位于该立体阶梯结构内，且该弯折部的一针端用以触压所述多数个导电接点其中之一。

5.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述多数个探针层其中二相邻者皆位于同一个该阶状体内。

6.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，每一所述探针层仅位于所述多数个阶状体其中之一。

7.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，所述多数个探针层其中二相邻者的所述悬臂式探针彼此交错排列。

8.根据权利要求1所述的探针载体装置，其特征在于，该载板包含一贯口、一第一主面与一第二主面，该第一主面相对该第二主面，该贯口沿一轴心线贯穿该载板，且连接该第一主面与该第二主面；以及

该至少一探针模块与该至少一立体阶梯结构分别为多数个时，所述立体阶梯结构围绕该轴心线，且所述立体阶梯结构内的所述悬臂式探针皆朝该轴心线的方向延伸。

9.一种探针卡系统，其特征在于，包括：

一平台，具有一承载面，用以承载一待测物，其中该待测物具有一内圈部与一外圈部，该外圈部围绕该内圈部，该内圈部具有多数个第一导电接点，该外圈部具有多数个第二导电接点；以及

一探针卡装置，位于该平台上，包括：

一电路板；以及

一探针载体装置，包括：

一载板；

一固针部，位于该载板的一面，具有至少一立体阶梯结构，连接该载板，包含至少一第一阶面，围绕以形成一第一空间区；至少一第二阶面，围绕以形成一第二空间区，该第二空间区接通该第一空间区，且大于该第一空间区；以及至少一连接面，邻接该第一阶面与该第二阶面；以及至少一探针模块，电性连接该电路板，包含至少一第一探针层与至少一第二探针层，该第一探针层与该第二探针层间隔地层叠于该固针部内，该第一探针层包含多数个第一悬臂式探针，所述多数个第一悬臂式探针从该第一阶面伸出该立体阶梯结构，且分别触压所述多数个第一导电接点，该第二探针层包含多数个第二悬臂式探针，所述多数个第二悬臂式探针从该第二阶面伸出该立体阶梯结构，且分别触压所述多数个第二导电接点，其中每一所述第一悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一第一力矩长度，每一所述第二悬臂式探针伸出该立体阶梯结构的部分具有一第二力矩长度，该第一力矩长度与该第二力矩长度彼此相同。

10.一种探针载体装置的制法，其特征在于，包括：

放置一第一悬臂式探针至一载板上；

涂布一第一胶体以覆盖该第一悬臂式探针与该载板；

固化该第一胶体为一第一固化层，使得该第一悬臂式探针受固定于该第一固化层内，且该第一悬臂式探针的一部分伸出该第一固化层之外，且该第一悬臂式探针伸出该第一固化层的该部分具有一第一力矩长度；

放置一第二悬臂式探针至该第一固化层背对该载板的一面；

涂布一第二胶体以覆盖该第二悬臂式探针与该第一固化层；以及

固化该第二胶体为一第二固化层，使得该第二固化层较该第一固化层内缩，且与该第一固化层形成一立体阶梯结构，其中该第二悬臂式探针受固定于该第二固化层内，且该第二悬臂式探针的一段伸出该第二固化层之外，该第二悬臂式探针伸出该第二固化层的该段具有一第二力矩长度，该第二力矩长度等于该第一力矩长度。