[发明专利]一种圆角三角形图形化衬底在审
申请号: | 201710295714.3 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN107039566A | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 梁宗文;王肖磊;孙智江 | 申请(专利权)人: | 海迪科(南通)光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/22;H01L33/10 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三角形 图形 衬底 | ||
1.一种圆角三角形图形化衬底,其特征在于:包括一衬底,所述衬底表面有周期化凸起或凹陷图形,所述凸起或凹陷图形的底边为圆角三角形且紧致排列,即每个排列圆角三角形任一边的垂直平分线通过该圆角三角形与相应的相邻圆角三角形的中心,且相邻圆角三角形之间具有间隙,排列圆角三角形的任一边与相邻圆角三角形对应的边关于该间隙轴对称。
2.根据权利要求1所述的圆角三角形图形化衬底,其特征在于:所述周期化图形的长度周期为100~8000 nm,周期化图形的底边边长为10~5000 nm,周期化图形的高度为0.1~10 µm,相邻圆角三角形之间的间隙为50~1000 nm。
3.根据权利要求1所述的圆角三角形图形化衬底,其特征在于:所述凸起或凹陷图形为圆角三角台形或圆角三角锥形中的任一种。
4.根据权利要求1所述的圆角三角形图形化衬底,其特征在于:所述圆角三角形的顶角的弧度的长度为0~500 nm。
5.根据权利要求1所述的圆角三角形图形化衬底,其特征在于:所述衬底为蓝宝石、碳化硅、硅或铝酸锂中的任一种。
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