[发明专利]有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件有效
| 申请号： | 201710293723.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN106992266B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 汪军;赵策;王东方;周斌 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 林桐苒;李丹 |
| 地址： | 230011 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 器件 制备 方法 装置 | ||
1.一种有机电致发光器件制备方法，其特征在于，包括：
调整周期性光栅结构的光栅周期，以使表面等离子体SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；
按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构，包括：
在薄膜晶体管TFT基板的钝化层PVX上对应的电激发光EL发光区域采用干刻或曝光显影方式制备所述周期性光栅结构；
在所述周期性光栅结构上以溅射方式沉积一层反射金属层，使其在EL发光区域能够复制其下方的周期性光栅结构；
在反射金属层之上以等离子气相沉积PCVD技术沉积一层绝缘层；
在绝缘层上以溅射方式沉积透明导电氧化物作为阳极，在透明导电氧化物之上以蒸镀方式沉积EL发光层；
在EL发光层之上以热蒸发方式制备透明金属阴极。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，在所述周期性金属光栅结构和所述透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，所述光栅周期与所述有机电致发光器件的出射光波长呈正比。
4.一种采用权利要求1所述有机电致发光器件制备方法制备的有机电致发光器件，其特征在于，包括：
采用透明导电氧化物形成的阳极，放置在透明导电氧化物下方的周期性金属光栅结构。
5.根据权利要求4所述的有机电致发光器件，其特征在于，在所述周期性金属光栅结构和所述透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述透明绝缘物质为透明绝缘无机膜。
7.根据权利要求4、5或6所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述周期性光栅结构的光栅周期与所述有机电致发光器件的出射光波长呈正比。
8.根据权利要求要求4所述的有机电致发光器件，其特征在于，当所述有机电致发光器件包括：采用透明导电氧化物形成的阳极，放置在透明导电氧化物沿背离出光方向的周期性金属光栅结构时，
所述有机电致发光器件为顶发射器件。
9.根据权利要求要求4所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述有机电致发光器件为有机电致发光二极管OLED。
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