[发明专利]变压器、等离子体处理装置和等离子体处理方法

权利要求书

1.一种变压器，其特征在于，包括：

圆柱状的旋转轴，构成为能够以其中心轴线为旋转轴线进行旋转；

一对第一支承部件，其为彼此相对配置的一对板状的部件，所述一对第一支承部件与所述中心轴线正交，并以所述旋转轴可旋转的方式支承所述旋转轴；

一对第二支承部件，其为彼此相对地配置于所述一对第一支承部件之间的一对圆盘状的部件，所述一对第二支承部件与所述中心轴线正交，并固定于所述旋转轴；

一对第三支承部件，其为彼此相对地配置于所述一对第二支承部件之间的一对圆盘状的部件，所述一对第三支承部件与所述中心轴线正交，并固定于所述旋转轴；

第一线圈，其是以交替通过所述一对第一支承部件中的一个第一支承部件的外侧和另一个第一支承部件的外侧的方式围绕与所述中心轴线正交的第一轴线延伸的一次侧的线圈；

第二线圈，其是以交替通过所述一对第二支承部件中的一个第二支承部件的外侧和另一个第二支承部件的外侧的方式围绕第二轴线延伸，且经由所述一对第二支承部件被所述旋转轴支承的二次侧的线圈，该第二轴线在由所述第一线圈包围的区域内与所述中心轴线正交；和

第三线圈，其是以交替通过所述一对第二支承部件中的一个第三支承部件的外侧和另一个第三支承部件的外侧的方式围绕第三轴线延伸，且经由所述一对第三支承部件被所述旋转轴支承的二次侧的线圈，该第三轴线在所述区域内与所述中心轴线正交且与所述第二轴线成规定的角度，

所述第二线圈和所述第三线圈通过所述旋转轴的旋转而绕所述中心轴线旋转。

2.如权利要求1所述的变压器，其特征在于：

所述第一线圈具有比所述第二线圈的自感和所述第三线圈的自感大的自感。

3.如权利要求1所述的变压器，其特征在于：

所述第三线圈设置在所述第二线圈的内侧，具有比所述第二线圈的自感小的自感。

4.如权利要求1～3中任一项所述的变压器，其特征在于：

所述规定的角度是90度。

5.如权利要求1～3中任一项所述的变压器，其特征在于：

所述第二线圈和所述第三线圈以在它们之间确保绝缘距离的方式配置。

6.如权利要求1～3中任一项所述的变压器，其特征在于：

所述第一线圈的另一端、所述第二线圈的另一端和所述第三线圈的另一端相互电连接。

7.一种电容耦合型的等离子体处理装置，其特征在于，包括：

提供腔室的腔室主体；

作为上部电极的第一电极；

作为下部电极的第二电极；

高频电源；和

权利要求1～5中任一项所述的变压器，

所述高频电源与所述第一线圈电连接，

所述第一电极与所述第二线圈的一端电连接，

所述第二电极与所述第三线圈的一端电连接。

8.一种电容耦合型的等离子体处理装置，其特征在于，包括：

提供腔室的腔室主体；

上部电极；

下部电极；

高频电源；和

权利要求1～5中任一项所述的变压器，

所述上部电极包括：

与在铅垂方向延伸的所述腔室的中心线交叉的第一电极；和

相对于所述中心线在辐射方向上设置在该第一电极的外侧的第二电极，

所述高频电源与所述第一线圈电连接，

所述第一电极与所述第二线圈的一端电连接，

所述第二电极与所述第三线圈的一端电连接。