[发明专利]一种监控靶材消耗状况的装置及方法

说明书

一种监控靶材消耗状况的装置，一种监控靶材消耗状况的装置，包括:靶材背板；靶材，所述靶材通过粘合层粘接到所述靶材背板上；回路组件，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路组件能够与所述靶材构成完整的回路，当所述靶材消耗至指定程度时，所述回路组件无法与所述靶材构成完整的回路。可以实时监控靶材消耗状况，最大程度利用靶材，避免靶材击穿问题发生，提高产品良率和靶材使用效率。

技术领域

本发明是应用于物理溅射成膜领域的一种监控靶材消耗状况的装置及方法。

背景技术

在薄膜晶体管基板制作过程中，需要在玻璃基板上沉积铝、钼、钛、铜等金属膜以及半导体透明导电膜、IGZO等非金属膜，该制程通常使用物理气象沉积机(PVD)完成；物理气象沉积机工作原理是利用电浆中的氩离子，对靶材(target)进行轰击，溅射出靶材原子，转移到玻璃基板表面完成膜层的沉积；机台根据沉积膜层的需要安装相应的靶材，靶材随着使用时间的延长不断被消耗，目前机台上靶材消耗完毕无法及时发现，易发生靶材被击穿的状况，对背板和产品造成影响，为了防止该情况发生，需要及时掌握靶材的消耗情况。

发明内容

本发明的目的在与克服靶材消耗完毕无法及时发现的缺陷，发明出一种能够及时掌握靶材消耗情况的监控靶材消耗状况的装置。

一种监控靶材消耗状况的装置，包括

靶材背板；

靶材，所述靶材通过粘合层粘接到所述靶材背板上；

回路组件，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路组件能够与所述靶材构成完整的回路，当所述靶材消耗至指定程度时，所述回路组件无法与所述靶材构成完整的回路。这样设置，能够在无法构成回路时及时发现靶材消耗的程度，方便对靶材进行更换。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述回路组件包括：

靶材测试探头，用于测试靶材的消耗状况；

回路控制器，用于控制所述回路的通断电；

中央控制系统，所述中央控制系统用于接受和分析所述回路的通断电状态。靶材测试探头对靶材消耗程度进行有效的监控，构成的回路通断状况能够及时有效的反应靶材消耗，提醒更换靶材。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述靶材测试探头依次贯穿靶材背板和粘合层并部分插入靶材。靶材测试探头穿过靶材节省空间同时与导电的靶材相接触，构成回路，能够准确的测量靶材消耗的情况。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述回路控制器、所述靶材测试探头以及所述中央控制系统通过导线两两连接。与回路控制装置和中央控制系统构成回路，完成对靶材的监控。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路控制器、所述靶材测试探头、所述中央控制系统以及所述靶材构成完整的回路，

当所述靶材消耗至指定程度时，所述靶材不再位于电路中，所述回路控制器、所述靶材测试探头、所述中央控制系统处于断路状态。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述靶材测试探头包括可导电的靶材探针和部分包覆靶材探针的绝缘层。将靶材探头分成导电和绝缘两部分配合导电的靶材和隔绝导电的粘合层，避免粘合层的导通影响对靶材的监控。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述靶材探针未包覆绝缘层的部分插入靶材。将靶材与靶材探针连通，对靶材消耗进行监控。

所述的监控靶材消耗状况的装置，其中，所述靶材探针包覆绝缘层的部分连同绝缘层贯穿靶材背板和粘合层。准确有效的测量靶材消耗的情况，避免绝缘层插入靶材造成靶材提前更换而造成浪费。