[发明专利]点阵式光电探测器

权利要求书

1.一种点阵式光电探测器，其特征在于，包含：

绝缘基板；

绝缘基板上的金属层，所述金属层上的第一透明导电氧化物层；

所述第一透明导电氧化物层上的绝缘层；

所述绝缘层内均匀分布且呈点阵式的孔洞；

所述孔洞内填充砷化镓材料，并且填充完成后上表面与绝缘层的上表面齐平；

在所述绝缘层和所述砷化镓材料上方形成的第二透明导电氧化物层；

所述第二透明导电氧化物层上形成透明聚光凸点层，所述透明聚光凸点层由聚光凸点形成，其对应点阵式孔洞并且将照射的光分别汇聚至各个点阵式孔洞中的砷化镓材料上。

2.如权利要求1所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述孔洞的形状为圆形。

3.如权利要求2所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述凸点的形状为圆形凸点，所述透明聚光凸点层由多个圆形凸点相交而形成。

4.如权利要求1所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述孔洞为正方形。

5.如权利要求4所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述凸点的形状为正方形。

6.如权利要求1-5任一项权利要求所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述金属层的材料为银。

7.如权利要求6所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述金属层为银纳米颗粒层。

8.如权利要求1所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述第二透明导电氧化物层上在两列孔洞的中间位置分别形成金属细栅线。

9.如权利要求8所述的点阵式光电探测器，其特征在于，所述第一透明导电氧化物层中还具有金属细栅线。