[发明专利]多层叠加的气体传感器在审
| 申请号： | 201710282611.3 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN106970113A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 黄晓敏 | 申请（专利权）人： | 黄晓敏 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 叠加 气体 传感器 | ||
1.一种多层叠加的气体传感器，其特征在于，包含：
绝缘基板；
所述绝缘基板上设置第一电极层，所述第一电极层包括金属层和透明导电氧化物层；
第一金属细栅线，设置在所述透明导电氧化物层上；
在所述第一金属细栅线和透明导电氧化物层未被金属细栅线覆盖的区域上形成多孔氧化锡层；
在所述多孔氧化锡层上形成多孔氧化钴层；
在所述多孔氧化钴层上形成的多孔氧化镍层；
在所述多孔氧化镍层上形成第二金属细栅线；
形成所述多孔氧化锡层、多孔氧化钴层和多孔氧化镍层后，通过包括碳量子点溶液对这三层进行浸泡，然后旋转去除碳量子点溶液，使得多孔层中材料的孔壁上形成碳量子点。
2.如权利要求1所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述第二金属细栅线的间距范围是1000-3000μm。
3.如权利要求1所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述多孔氧化锡层、多孔氧化钴层和多孔氧化镍层通过PS微球先形成模板，然后蒸镀一层材料层，再去除PS微球形成多孔氧化锡层。
4.如权利要求3所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述多孔氧化锡层的PS微球粒径范围是200-300微米。
5.如权利要求4所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述多孔氧化钴层的PS微球粒径范围是60-200微米。
6.如权利要求4-5任一项权利要求所述的多层叠加的气体传感器，所述多孔氧化镍层的PS微球粒径范围是200-300微米。
7.如权利要求3所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述PS微球粒径范围是60-300微米。
8.如权利要求3所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，重复形成模板-材料蒸镀-去除PS微球步骤增加多孔层的厚度。
9.如权利要求8所述的多层叠加的气体传感器，其特征在于，所述多孔氧化锡层、多孔氧化钴层和多孔氧化镍层的厚度范围分别是1000-4000微米。
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