[发明专利]一种减压干燥腔及真空减压干燥设备

权利要求书

1.一种减压干燥腔，包括：腔室、设置于所述腔室内的承载部件和设置于所述腔室上的抽气孔，其特征在于，还包括设置于所述腔室内的整流装置；所述整流装置包括：面向所述承载部件承载待干燥基板一侧的扩散装置和位于所述扩散装置背向所述承载部件一侧的盖板；所述扩散装置与所述盖板之间通过支撑物连接且存在第一间隙，所述扩散装置中设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个通孔，所述扩散装置上设有朝向所述承载部件且用于密封所述扩散装置与所述承载部件的密封圈；

其中，所述抽气孔用于抽走扩散到所述第一间隙中的气体，所述扩散装置包括：面向所述承载部件承载待干燥基板一侧的第一扩散板和位于所述第一扩散板与所述盖板之间的第二扩散板；所述第一扩散板与所述第二扩散板相连，且所述第一扩散板与所述第二扩散板之间存在第二间隙，所述第一扩散板上设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个第一通孔，所述第二扩散板上设有均匀分布的垂直所述待干燥基板的多个第二通孔，所述密封圈设置在所述第二扩散板上；

所述第二扩散板背向所述第一扩散板一侧的表面上，且在相邻的所述第二通孔之间的间隙处设有第一氛围调节槽；

所述承载部件承载所述待 干燥基板的区域的周边区域设有第二氛围调节槽。

2.根据权利要求1所述的减压干燥腔，其特征在于，所述第二扩散板的厚度大于所述第一扩散板的厚度。

3.根据权利要求2所述的减压干燥腔，其特征在于，所述第二通孔的孔径大于所述第一通孔的孔径。

4.一种真空减压干燥设备，其特征在于，包括至少一个级联的如权利要求1～3任一项所述的减压干燥腔。

5.根据权利要求4所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述减压干燥腔的数量为多个，相邻的所述减压干燥腔之间设有传输腔，所述传输腔中设有传输装置，且所述传输腔与连接的所述减压干燥腔在连接处设有阀门。

6.根据权利要求5所述的真空减压干燥设备，其特征在于，在所述真空减压干燥设备工作时，从前级所述减压干燥腔至后级所述减压干燥腔的工作气压逐渐降低。

7.根据权利要求4所述的真空减压干燥设备，其特征在于，第一级所述减压干燥腔还连接有一个工作气压高于该减压干燥腔的氛围调节减压干燥腔，所述氛围调节减压干燥腔，用于在第一级所述减压干燥腔中进行真空减压干燥之前进行真空减压干燥，包括：腔室和设置于所述腔室内的承载部件；所述承载部件上用于承载待干燥基板的区域的周边区域设有第二氛围调节槽。

8.根据权利要求7所述的真空减压干燥设备，其特征在于，所述第二氛围调节槽均匀分布在所述承载部件上用于承载待干燥基板的区域的周边区域。