[发明专利]树脂密封装置和树脂密封方法

权利要求书

1.一种树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置具备：

基板输送机构，其包括能够沿上下方向和水平方向移动的爪部和能够对载置在所述爪部上的基板进行保持的基板保持部；

成形模，其包括上模、下模以及支承部，模腔形成于所述上模和所述下模中的至少一者，保持在所述爪部上的所述基板能被连同所述爪部一起沿着水平方向插入到所述上模与所述下模之间，该支承部能够在将所述爪部沿着水平方向自所述上模与所述下模之间拔出时支承所述基板；以及

合模机构，其用于在将所述基板载置在所述下模上的状态下将所述上模和所述下模合模，从而在所述模腔内对所述基板进行树脂密封。

2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中，

所述支承部包括能够在将所述爪部沿着水平方向自所述上模与所述下模之间拔出时与所述基板相接触而使所述基板停下的构件。

3.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

所述支承部包括能够在所述爪部被自所述上模与所述下模之间拔出的状态下在所述上模与所述下模之间的位置处支承所述基板的构件。

4.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置还具备用于对插入到所述上模与所述下模之间的所述基板进行定位的定位机构。

5.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

所述成形模还包括能够将所述基板固定在所述下模上的固定机构。

6.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置还具备用于载置被插入所述上模与所述下模间之前的所述基板的基板载置部，

所述基板载置部包括能够对所述基板的宽度方向两端部进行支承的第1部分和能够对所述基板的宽度方向内侧部进行支承的第2部分。

7.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置还具备用于对被进行所述树脂密封之前的所述基板进行加热的加热机构。

8.根据权利要求7所述的树脂密封装置，其中，

在所述加热机构的上表面上形成有与所述爪部的形状相对应的凹部。

9.一种树脂密封方法，其中，

该树脂密封方法包括以下工序：

将基板保持在基板输送机构的爪部上；

准备成形模，该成形模包括上模和下模，模腔形成于所述上模和所述下模中的至少一者；

将被保持在所述爪部上的所述基板连同所述爪部一起沿着水平方向插入到所述上模与所述下模之间；

在所述上模与所述下模之间支承着所述基板的状态下，将所述爪部沿着水平方向自所述上模与所述下模之间拔出；以及

在将所述基板载置在所述下模上的状态下将所述上模和所述下模合模，从而在所述模腔内对所述基板进行树脂密封。

10.根据权利要求9所述的树脂密封方法，其中，

所述爪部包括沿着所述基板的插入方向互相大致平行地延伸的第1爪和第2爪。

11.根据权利要求9或10所述的树脂密封方法，其中，

该树脂密封方法还包括用于对被进行所述树脂密封之前的所述基板进行加热的工序。

12.根据权利要求9或10所述的树脂密封方法，其中，

在所述上模与所述下模之间对被进行所述树脂密封之前的所述基板进行定位。