[发明专利]高密度光栅的制作方法有效
| 申请号： | 201710278740.5 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107093487B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李文超;陈鸣闽;李志成;李凌;辜嘉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 王策 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高密度 光栅 制作方法 | ||
1.高密度光栅的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：
制作低密度光栅步骤，制作n块光栅条宽度为a、光栅周期距离为A的低密度光栅，其中，n为大于或等于2的自然数，且n*aA；
叠压步骤，将n块所述低密度光栅叠压固定在一起制成光栅条宽度为a、光栅周期距离为A/n的高密度光栅；
n等于2，所述叠压步骤中，2块所述低密度光栅的叠压位置关系为：其中一块所述低密度光栅的光栅条刚好处于另一块所述低密度光栅的光栅周期距离1/2位置处；或者，
n等于3，定义3块所述低密度光栅分别为第一块低密度光栅、第二块低密度光栅和第三块低密度光栅，所述叠压步骤中，3块所述低密度光栅的叠压位置关系为：第二块所述低密度光栅的光栅条刚好处于第一块所述低密度光栅的光栅周期距离1/3位置处，第三块所述低密度光栅的光栅条刚好处于第一块所述低密度光栅的光栅周期距离2/3位置处。
2.如权利要求1所述的高密度光栅的制作方法，其特征在于：所述叠压步骤中，各所述低密度光栅以光栅条沿直线相互交替的方式叠压在一起；且/或，
各所述低密度光栅都采用机械刻划方法或者全息光刻方法制成。
3.如权利要求1或2所述的高密度光栅的制作方法，其特征在于：所述叠压步骤中，各所述低密度光栅通过粘接方式叠压固定在一起。
4.如权利要求3所述的高密度光栅的制作方法，其特征在于：在所述叠压步骤之后还设有固定清洗步骤，所述固定清洗步骤为：采用固定架固定各所述低密度光栅四周，在固定架上粘接覆盖压圈，洗去各所述低密度光栅中间的粘合层。
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